特許

J-GLOBAL ID：201403085632189967

紫外線照射装置及び紫外線照射方法

発明者： 千葉 敏昭 ,  越智 鉄美
出願人/特許権者： 日機装株式会社
代理人 (1件)： 森下 賢樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-231489
公開番号（公開出願番号）：特開2014-083470
出願日： 2012年10月19日
公開日（公表日）： 2014年05月12日
要約：

【課題】光源を冷却する手段を簡素化した小型の紫外線照射装置の提供にある。【解決手段】紫外線照射装置100は、被処理物を入れる処理容器12と、処理容器12に設けられ、被処理物に紫外線を照射する光源18と、処理容器12の内部を減圧する真空ポンプ22と、真空ポンプ22により吸引される空気が光源18を冷却するように流れる通気部と、を備える。処理容器12が収容される筐体10をさらに備え、通気部20は、処理容器12と筐体10の間の空間により形成されてもよい。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被処理物を入れる処理容器と、 前記処理容器に設けられ、前記被処理物に紫外線を照射する光源と、 前記処理容器の内部を減圧する真空ポンプと、 前記真空ポンプにより吸引される空気が前記光源を冷却するように流れる通気部と、 を備えることを特徴とする紫外線照射装置。

IPC (1件)：

B01J 19/12

FI (1件)：

B01J19/12 C

Fターム (23件)：

4B021LT09 ,  4B021MC01 ,  4C058AA12 ,  4C058AA21 ,  4C058BB06 ,  4C058KK02 ,  4C058KK14 ,  4C058KK21 ,  4C058KK50 ,  4G075AA30 ,  4G075AA32 ,  4G075BA04 ,  4G075BB10 ,  4G075CA03 ,  4G075CA33 ,  4G075DA02 ,  4G075EA06 ,  4G075EB01 ,  4G075EB31 ,  4G075EC25 ,  4G075FB06 ,  4G075FC04 ,  4G075FC11