特許
J-GLOBAL ID:201403086113137379
露光装置の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人太陽国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-247313
公開番号(公開出願番号):特開2014-094506
出願日: 2012年11月09日
公開日(公表日): 2014年05月22日
要約:
【課題】貫通孔を備えた樹脂製の筐体に光学部材又は基板を取り付けるときに筐体内に異物が侵入するのを抑制する。【解決手段】プリントヘッド20の製造方法では、筐体28のX方向で対向する内面28C、28Dの間隔を貫通孔30の一方の開口端側で広げ、レンズアレイ26を一方の開口端から貫通孔30に挿入する。そして、筐体28とレンズアレイ26を接着剤Sで接着する。ここで、筐体28の内面28Cと内面28Dの間隔が、レンズアレイ26のX方向の幅よりも長くなっているので、レンズアレイ26を貫通孔30に挿入するとき、レンズアレイ26が内面28C、28Dと接触しにくくなる。これにより、接触による筐体28の削り屑の発生などが抑制されるので、筐体28内に異物が侵入するのを抑制することができる。【選択図】図6
請求項(抜粋):
一方向に延びた貫通孔が形成された樹脂製の筐体の前記一方向に直交する方向で対向する前記貫通孔の内面の間隔を前記貫通孔の一方の開口端側で広げ、光学部材を前記一方の開口端から前記貫通孔に挿入する光学部材挿入工程と、
前記筐体と前記光学部材を接着剤で接着する光学部材接着工程と、
を有する露光装置の製造方法。
IPC (5件):
B41J 2/44
, B41J 2/45
, B41J 2/455
, H04N 1/036
, G03G 15/04
FI (3件):
B41J3/21 L
, H04N1/036 A
, G03G15/04
Fターム (25件):
2C162AE21
, 2C162AE28
, 2C162AE40
, 2C162AE47
, 2C162AF07
, 2C162FA04
, 2C162FA17
, 2C162FA44
, 2C162FA50
, 2C162FA53
, 2C162FA63
, 2C162FA70
, 2H076AB42
, 2H076AB51
, 2H076AB53
, 2H076AB82
, 2H076EA04
, 5C051AA02
, 5C051CA08
, 5C051DB02
, 5C051DB04
, 5C051DB22
, 5C051DB29
, 5C051DD02
, 5C051EA08
引用特許: