特許
J-GLOBAL ID：201403087027459033
半導体検査装置、及び検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-092485
公開番号（公開出願番号）：特開2014-216183
出願日： 2013年04月25日
公開日（公表日）： 2014年11月17日
要約：
【課題】 半導体検査装置で大きさの異なる試料を検査する場合に、試料外縁付近を検査するときに試料近傍の等電位面の分布が乱れるため一次電子線が曲がってしまい、位置ずれが発生する。【解決手段】 試料の外側で且つ試料下面よりも低い位置に電位補正電極44を設け、そこに電源48から、試料10よりも低い電位を印加する。また、位置検出部52、54等を用いて、試料の測長位置と試料外縁との距離や、試料外縁のテーパー形状や、試料の厚さを計測により求め、分析・制御部28、29が、それらの値に応じて電位補正電極44に印加する補正電圧を制御する。これにより、試料10の直径や外縁の形状や厚さのばらつきによる位置ずれの防止が可能となる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
半導体検査装置であって、
試料を保持し、移動可能な試料台と、
一次荷電粒子ビームを前記試料の表面に走査するビーム走査部と、
放出される二次荷電粒子を検出する二次荷電粒子検出部と、
前記試料の外縁よりも内側の位置に設けられた吸着用電極と、
前記吸着用電極に電圧を印加するための吸着電圧印加部と、
その内縁が前記吸着用電極の外縁よりも外側にあり、その外縁が前記試料の外縁よりも外側に設けられた電位補正電極と、
前記試料の位置を検出する位置検出部と、
測長位置と試料外縁との距離に基づき、前記電位補正電極に印加する補正電圧を分析制御する分析制御部とを備え、
前記位置検出部は、前記試料の直径と中心位置の座標を求め、前記試料の直径と中心位置の座標と測長位置の座標とから、前記測長位置と試料外縁との距離を求める、
ことを特徴とする半導体検査装置。
IPC (4件)：
H01J 37/20
, H01J 37/28
, H01L 21/66
, H05K 3/00
H01J37/20 A
, H01J37/28 B
, H01L21/66 J
, H05K3/00 T
4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106CA39
, 4M106CA50
, 4M106DB18
, 4M106DB20
, 4M106DH03
, 4M106DJ04
, 4M106DJ07
, 4M106DJ19
, 4M106DJ21
, 5C001AA01
, 5C001CC04
, 5C001CC08
, 5C033UU03
, 5C033UU04
