特許

J-GLOBAL ID：201403087783638855

金属組織並びに材質の計測装置及び計測方法

発明者： 佐野 光彦
出願人/特許権者： 東芝三菱電機産業システム株式会社
代理人 (1件)： 三好 秀和
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2010068127
公開番号（公開出願番号）：WO2012-049764
出願日： 2010年10月15日
公開日（公表日）： 2012年04月19日
要約：

第1のレーザー光を発振するパルスレーザー発振器(11)と、発振された第1のレーザー光を複数の分割光に分割する光分割部と、光分割部により分割された分割光をそれぞれ伝播させ、その光伝播時間が異なる複数の光路(12,13,14,15,16)と、複数の光路をそれぞれ伝播した複数の分割光を被測定材(100)の同一位置に重ねて照射する集光部と、被測定材(100)に第2のレーザー光を照射し、被測定材(100)から反射及び散乱された第2のレーザー光を基準光と干渉させて生じる光量変化に基づいて、第1のレーザー光により励起され、被測定材(100)の内部を伝播した超音波を検出するレーザー干渉計部(30)と、レーザー干渉計部(30)により検出された超音波に基づいて、被測定材(100)の金属組織及び材質を算出する波形解析部(32)とを備える。

請求項（抜粋）：

第1のレーザー光を発振するパルスレーザー発振器と、 前記発振された第1のレーザー光を複数の分割光に分割する光分割部と、 前記光分割部により分割された分割光をそれぞれ伝播させ、その光伝播時間が異なる複数の光路と、 前記複数の光路をそれぞれ伝播した複数の分割光を被測定材の同一位置に重ねて照射する集光部と、前記被測定材に第2のレーザー光を照射し、前記被測定材から反射及び散乱された第2のレーザー光を基準光と干渉させて生じる光量変化に基づいて、前記第1のレーザー光により励起され、被測定材の内部を伝播した超音波を検出するレーザー干渉計部と、 前記レーザー干渉計部により検出された超音波に基づいて、前記被測定材の金属組織及び材質を算出する波形解析部と、 を備えたことを特徴とする金属組織並びに材質の計測装置。

IPC (1件)：

G01N 29/00

FI (1件)：

G01N29/00 501

Fターム (5件)：

2G047AA06 ,  2G047BA07 ,  2G047CA04 ,  2G047CB01 ,  2G047GG08