特許
J-GLOBAL ID：201403088650608151
エッチングレート測定装置、エッチングレート測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 誠一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-010331
公開番号（公開出願番号）：特開2014-143275
出願日： 2013年01月23日
公開日（公表日）： 2014年08月07日
要約：
【課題】簡易な構成で好適にエッチングレートを測定できるエッチングレート測定装置等を提供する。【解決手段】エッチング槽1内にガラス体3を配置し、薬液1aによるエッチングを行う。エッチング中、光源5からの検査光2を分光器7で分光し、ガラス体3に照射する。そして、エッチング槽1、薬液1a、ガラス体3等を透過した検査光2を光検出器9で検出する。ガラス体3のエッチングに伴って検査光2の透過率が変化するので、予め求めておいた検査光2の透過率とガラス体3の厚さとの関係を用いて、検査光2の透過率からエッチングレートを算出することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
エッチング槽内に配置され、薬液によりエッチングされるガラス体に検査光を照射する光源と、
前記エッチング槽、前記薬液、および前記ガラス体を透過した検査光を検出する光検出器と、
前記ガラス体のエッチングに伴う前記検査光の透過率の変化から、エッチングレートを算出するエッチングレート算出部と、
を具備することを特徴とするエッチングレート測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
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