特許
J-GLOBAL ID:201403089555076831

セラミックス被膜

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人深見特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-190304
公開番号(公開出願番号):特開2014-047381
出願日: 2012年08月30日
公開日(公表日): 2014年03月17日
要約:
【課題】本発明の目的は、耐熱性の向上と硬度の向上とを両立させたセラミックス被膜を提供することにある。【解決手段】本発明のセラミックス被膜は、第1層と第2層とが交互に積層した多層構造を含むものであって、レーザーCVD法により形成されており、該第1層は、Al2O3を主成分として含み、該第2層は、Al2O3とZrO2とを主成分として含み、該多層構造は、少なくともその一部において、積層方向が該セラミックス被膜全体の厚み方向に対して傾斜していることを特徴とする。【選択図】図2
請求項(抜粋):
第1層と第2層とが交互に積層した多層構造を含むセラミックス被膜であって、 前記セラミックス被膜は、レーザーCVD法により形成されており、 前記第1層は、Al2O3を主成分として含み、 前記第2層は、Al2O3とZrO2とを主成分として含み、 前記多層構造は、少なくともその一部において、積層方向が前記セラミックス被膜全体の厚み方向に対して傾斜している、セラミックス被膜。
IPC (2件):
C23C 16/48 ,  B23B 27/14
FI (2件):
C23C16/48 ,  B23B27/14 A
Fターム (13件):
3C046FF13 ,  3C046FF16 ,  4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA22 ,  4K030BA42 ,  4K030BA43 ,  4K030BB12 ,  4K030CA05 ,  4K030CA17 ,  4K030FA07 ,  4K030JA01 ,  4K030KA02
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)
引用文献:
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