特許
J-GLOBAL ID：201403089738168336
真空スチーム洗浄装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
園田 吉隆
, 小林 義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-538786
公開番号（公開出願番号）：特表2014-532551
出願日： 2012年07月18日
公開日（公表日）： 2014年12月08日
要約：
物品を洗浄するための装置は洗浄ヘッド(150)を含みうる。洗浄ヘッドは下縁部を有してもよく、また、環状スチームチャンバ(200)及びスチームノズル(186)を含んでもよい。環状スチームチャンバは、その中に物品を受け入れるように構成される真空チャンバを画定する。環状スチームチャンバは、下縁部から離間した関係で垂直に配置される複数の分離された開口部を有してもよい。スチームノズルは、環状スチームチャンバへスチームを供給し、開口部を経由して真空チャンバ内へ放出するように構成されてもよい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
下縁部(158)を有する洗浄ヘッド(150)であって:
真空チャンバ(160)を包み込む環状スチームチャンバ(200)であって、前記下縁部(158)から離間した関係で垂直に配置される複数の開口部(210)を有する環状スチームチャンバ(200)と;
前記開口部(210)を経由して前記真空チャンバ(160)内へ放出するため、スチームを前記環状スチームチャンバ(200)へ供給するように構成されているスチームノズル(186)と
を含む洗浄ヘッド(150)、を備える洗浄装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
3B201AA47
, 3B201AB52
, 3B201BB12
, 3B201BB13
, 3B201BB72
, 3B201BB75
, 3B201BB87
, 3B201BB92
, 3B201CB01
, 3B201CD11
, 3B201CD22
, 3B201CD36
, 3B201CD43
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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