特許

J-GLOBAL ID：201403089943849206

磁気ディスク用ガラス基板の製造方法

発明者： 飯泉 京介 ,  田村 健
出願人/特許権者： HOYA株式会社
代理人 (1件)： グローバル・アイピー東京特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-269099
公開番号（公開出願番号）：特開2014-116046
出願日： 2012年12月10日
公開日（公表日）： 2014年06月26日
要約：

【課題】研磨剤として粒状のジルコニアを含む研磨液を用いてガラス基板の主表面を研磨した後に、ガラス基板の主表面にジルコニア粒子が残留することを抑制するようにした磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を提供する。【解決手段】ジルコニアの砥粒を含む研磨液を用いてガラス基板Gの主表面を研磨する研磨処理と、洗浄液を使用して前記研磨処理後のガラス基板を洗浄する洗浄処理とを有する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、前記洗浄液は、少なくともフッ素イオンを含み、前記研磨処理と洗浄処理との間に、ホスホン酸を含む液に接触させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ジルコニアの砥粒を含む研磨液を用いてガラス基板の主表面を研磨する研磨処理と、洗浄液を使用して前記研磨処理後のガラス基板を洗浄する洗浄処理とを有する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、 前記洗浄液は、少なくともフッ素イオンを含み、 前記研磨処理と洗浄処理との間に、ホスホン酸を含む液に接触させることを特徴とする、 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。

IPC (1件)：

G11B 5/84

FI (1件)：

G11B5/84 A

Fターム (6件)：

5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112BA03 ,  5D112BA09 ,  5D112GA08 ,  5D112GA09