特許

J-GLOBAL ID：201403090139246262

縮合多環芳香族化合物薄膜の製造方法およびそれにより製造された縮合多環芳香族化合物薄膜

発明者： 山本 貴広 ,  米谷 慎 ,  横山 浩
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
代理人 (2件)： 飯田 敏三 ,  宮前 尚祐
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-257348
公開番号（公開出願番号）：特開2013-051438
特許番号：特許第5540290号
出願日： 2012年11月26日
公開日（公表日）： 2013年03月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 縮合多環芳香族化合物と、当該縮合多環芳香族化合物を溶解可能な有機化合物との混合溶液を得るステップと、 前記混合溶液を基板に塗布するステップと、 前記塗布溶液から前記有機化合物を除去するステップと、 を有する縮合多環芳香族化合物薄膜の製造方法であって、 前記有機化合物が、シクロヘキサンカルボン酸化合物の1種または2種以上であり、 前記縮合多環芳香族化合物が、少なくとも末端にあるベンゼン環の炭素原子の少なくとも1個を窒素原子に置換した化合物を除くペンタセン化合物であることを特徴とする縮合多環芳香族化合物薄膜の製造方法。

IPC (4件)：

H01L 51/40 ( 200 6.01) ,  H01L 21/368 ( 200 6.01) ,  H01L 51/05 ( 200 6.01) ,  H01L 51/30 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01L 29/28 310 J ,  H01L 21/368 L ,  H01L 29/28 100 A ,  H01L 29/28 250 H

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 有機半導体トランジスタ素子、その製造方法および半導体装置。
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-358169   出願人：富士ゼロックス株式会社
• ケイ皮酸基およびアセチレン基を含む重合可能な化合物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-113685   出願人：メルクパテントゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフトング
• 粒子分散系樹脂シート、画像表示装置用基板および画像表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-374842   出願人：日東電工株式会社