液処理装置及び液処理方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中本菊彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-288515
公開番号（公開出願番号）：特開2013-211525
特許番号：特許第5439579号
出願日： 2012年12月28日
公開日（公表日）： 2013年10月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被処理基板に処理液を供給する複数の処理液供給ノズルのうち一つの処理液供給ノズルに接続される液処理装置であって、上記処理液を貯留する処理液貯留容器と上記処理液供給ノズルとを接続する供給管路と、上記供給管路に介設され、上記処理液を濾過すると共に、上記処理液中に混入している異物を除去するフィルタ装置と、上記フィルタ装置の二次側の上記供給管路に介設されるポンプと、上記フィルタ装置と上記ポンプとの間の上記供給管路に介設され、上記処理液中に存在する気泡を分離する機能を有するトラップタンクと、上記トラップタンクと上記ポンプを接続する第1循環管路と、上記トラップタンクと上記フィルタ装置の一次側の供給管路とを接続する第2循環管路とからなる循環管路と、上記ポンプの二次側の上記供給管路に介設される供給制御弁と、上記循環管路に介設される循環制御弁と、上記ポンプ、供給制御弁及び循環制御弁を制御する制御手段と、を具備し、上記供給制御弁を閉じることで上記処理液供給ノズルから上記被処理基板への処理液の供給が停止している際に、上記循環制御弁を開き、上記ポンプを駆動して、上記フィルタ装置を介設する上記供給管路と上記循環管路との間で上記処理液を循環させることを特徴とする液処理装置。

IPC (11件)：

H01L 21/027 ( 200 6.01) , B05C 11/10 ( 200 6.01) , B01D 19/00 ( 200 6.01) , B01D 29/11 ( 200 6.01) , B01D 24/48 ( 200 6.01) , B01D 29/60 ( 200 6.01) , B01D 36/00 ( 200 6.01) , B01D 37/04 ( 200 6.01) , B01D 33/00 ( 200 6.01) , B01D 35/20 ( 200 6.01) , B01D 35/18 ( 200 6.01)

FI (16件)：

H01L 21/30 564 Z , B05C 11/10 , B01D 19/00 G , B01D 19/00 H , B01D 29/10 501 C , B01D 29/10 510 C , B01D 29/10 520 E , B01D 29/10 520 Z , B01D 29/10 530 A , B01D 29/36 C , B01D 36/00 , B01D 37/04 , B01D 19/00 B , B01D 33/00 Z , B01D 35/20 , B01D 35/18

引用特許：

審査官引用 (6件)

薬液供給方法および薬液供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-290525 出願人：株式会社コガネイ
薬液供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-401216 出願人：株式会社コガネイ
処理液供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-309449 出願人：東京エレクトロン株式会社

全件表示

前のページに戻る