特許

J-GLOBAL ID：201403090924839761

波長変換光学素子ホルダ、波長変換光学素子ホルダを備えたレーザ装置、レーザ装置を備えた露光装置及び検査装置

発明者： 高田 康利 ,  谷 善朗
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 岩崎 敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-169645
公開番号（公開出願番号）：特開2014-029384
出願日： 2012年07月31日
公開日（公表日）： 2014年02月13日
要約：

【課題】停電等による予期せぬ電源遮断に対し、簡明な構成で反射防止膜等の損傷を抑制し得る手段を提供する。【解決手段】結晶ホルダ100は、波長変換光学素子31を保持する第1ホルダ部材110と、第1ホルダ部材110を介して波長変換光学素子31を保持する第2ホルダ部材120と、第2ホルダ部材120の外側部を覆う第3ホルダ部材130と、波長変換光学素子31を加熱するヒータ140とを有して構成される。第1ホルダ部材110は、熱伝導率が高く熱容量密度が低い高熱拡散材料により形成され、第2ホルダ部材120は、熱伝導率が低く熱容量密度が高い低熱拡散材料により形成され、第3ホルダ部材130は、熱伝導率及び熱容量密度がともに低い断熱材料により形成される。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

波長変換光学素子を保持する第1ホルダ部材と、前記第1ホルダ部材を介して前記波長変換光学素子を保持する第2ホルダ部材と、前記第2ホルダ部材の外側部を覆う第3ホルダ部材と、前記波長変換光学素子を加熱及び/または冷却するための温度調整器とを有し、 前記第1ホルダ部材は、熱伝導率が高く熱容量密度が低い高熱拡散材料により形成され、 前記第2ホルダ部材は、第1ホルダ部材と対比して熱伝導率が低く熱容量密度が高い低熱拡散材料により形成され、 前記第3ホルダ部材は、熱伝導率及び熱容量密度が共に低い断熱材料により形成されることを特徴とする波長変換光学素子ホルダ。

IPC (8件)：

G02F 1/37 ,  H01S 3/10 ,  H01S 3/00 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G03F 1/84 ,  G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (8件)：

G02F1/37 ,  H01S3/10 Z ,  H01S3/00 A ,  H01L21/30 527 ,  G03F7/20 505 ,  G03F1/84 ,  G01N21/956 A ,  H01L21/66 J

Fターム (56件)：

2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051BB09 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051DA06 ,  2H095BD04 ,  2H095BD13 ,  2H097BB02 ,  2H097CA17 ,  2H097GB01 ,  2H097GB02 ,  2H097GB03 ,  2H097LA10 ,  2H097LA15 ,  2H097LA16 ,  2H097LA17 ,  2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002AB27 ,  2K002BA02 ,  2K002BA04 ,  2K002CA02 ,  2K002CA03 ,  2K002DA01 ,  2K002EA10 ,  2K002EA22 ,  2K002EA24 ,  2K002EA30 ,  2K002EB12 ,  2K002GA10 ,  2K002HA19 ,  2K002HA20 ,  4M106AA01 ,  4M106AA09 ,  4M106BA05 ,  4M106CA39 ,  4M106DB08 ,  5F146BA04 ,  5F146BA05 ,  5F146CA03 ,  5F146DA26 ,  5F172AF06 ,  5F172AM08 ,  5F172EE12 ,  5F172EE13 ,  5F172NR03 ,  5F172NR22 ,  5F172NR24 ,  5F172NS26 ,  5F172ZZ02