特許
J-GLOBAL ID：201403092124884664

X線検査装置

発明者：
岩尾 快彦

岩尾 快彦 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 鹿島 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-131676
公開番号（公開出願番号）：特開2013-257155
出願日： 2012年06月11日
公開日（公表日）： 2013年12月26日
要約：
【課題】被検査物の全領域の外観像を撮影することができるX線検査装置を提供する。【解決手段】互いに対向配置されたX線発生装置1とX線検出器2との間に設けられ、被検査物Wが載置されるステージ3と、ステージ3をX線光軸方向を含む3軸方向に移動させる移動機構4と、被検査物Wの一部領域のX線透視画像を取得するX線透視画像取得部21aと、被検査物Wの全領域の外観像をX線光軸方向から撮影する光学カメラ5と、外観像を表示器23に表示する外観像表示制御部21bと、外観像上の所望の位置が指定されることにより、当該所望の位置を含むX線透視画像が取得されるように、移動機構4を駆動させる移動機構制御部21cとを備えるX線検査装置10であって、被検査物Wの高さhが入力されることにより、外観像表示制御部21bは、高さhに基づいてステージ3をX線光軸方向に移動させた後、光学カメラ5に外観像を撮影させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
互いに対向配置されたX線発生装置とX線検出器との間に設けられ、被検査物が載置されるステージと、 前記ステージをX線光軸方向を含む少なくとも3軸方向に移動させる移動機構と、 前記被検査物の一部領域のX線透視画像を取得するX線透視画像取得部と、 前記被検査物の全領域の外観像をX線光軸方向から撮影するための光学カメラと、 前記外観像を表示器に表示する外観像表示制御部と、 前記外観像上の所望の位置が指定されることにより、当該所望の位置を含むX線透視画像が取得されるように、前記移動機構を駆動させる移動機構制御部とを備えるX線検査装置であって、 前記被検査物の高さが入力されることにより、前記外観像表示制御部は、当該高さに基づいてステージをX線光軸方向に移動させた後、前記光学カメラに外観像を撮影させることを特徴とするX線検査装置。
IPC (2件)：
G01N 23/04 ,  G01B 11/00
FI (2件)：
G01N23/04 ,  G01B11/00 H
Fターム (19件)：
2F065AA03 ,  2F065AA14 ,  2F065AA16 ,  2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001HA16 ,  2G001KA03 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM