特許

J-GLOBAL ID：201403093358948174

脆性材料基板のスクライブ方法

発明者： 富永 圭介 ,  森 亮
出願人/特許権者： 三星ダイヤモンド工業株式会社
代理人 (1件)： 鹿島 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-197702
公開番号（公開出願番号）：特開2014-051415
出願日： 2012年09月07日
公開日（公表日）： 2014年03月20日
要約：

【課題】カッターホイールで閉曲線のスクライブラインをスクライブするにあたって、「ソゲ」の発生を抑制することができるスクライブ方法を提供する。【解決手段】複数の直線部と、これら直線部を結ぶ角部に形成された曲線部とからなる略多角形の閉曲線の形状をなすスクライブ予定ラインに沿って、カッターホイールを基板Wの表面に圧接しながら相対的に移動させてスクライブするスクライブ方法であって、閉曲線の外側のスクライブ開始位置PSからカッターホイールをスタートさせて、直線助走部L0から第1直線部L1を通って第4曲線部R4までスクライブして閉曲線を完成させる際に、第4曲線部R4の終端領域βでのカッターホイールの圧接力並びに転動速度を、他の部分のスクライブ時の圧接力並びに転動速度よりも高圧かつ低速で行うようにした。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複数の直線部と、これら直線部を結ぶ角部に形成された弧状の曲線部とからなる略多角形の閉曲線の形状をなすスクライブ予定ラインに沿って、カッターホイールを脆性材料基板の表面に圧接しながら相対的に移動させることによりスクライブする脆性材料基板のスクライブ方法であって、 前記直線部の一つを第1直線部とし、この第1直線部に連なって閉曲線を完成させる最終の曲線部を最終曲線部としたとき、 前記閉曲線の外側のスクライブ開始位置からカッターホイールによるスクライブを開始し、前記第1直線部に至るまで前記閉曲線の外側に直線状に設定された直線助走部をスクライブし、続いて前記第1直線部から前記最終曲線部までスクライブして前記閉曲線を完成させる際に、 前記最終曲線部の終端領域でのカッターホイールの圧接力並びに転動速度を他の部分のスクライブ時の圧接力並びに転動速度よりも高圧かつ低速で行うようにした脆性材料基板のスクライブ方法。

IPC (4件)：

C03B 33/04 ,  B28D 5/00 ,  B28D 1/24 ,  C03B 33/037

FI (4件)：

C03B33/04 ,  B28D5/00 Z ,  B28D1/24 ,  C03B33/037

Fターム (13件)：

3C069AA03 ,  3C069BA04 ,  3C069BC07 ,  3C069CA11 ,  3C069EA04 ,  3C069EA05 ,  4G015FA02 ,  4G015FA03 ,  4G015FB01 ,  4G015FB02 ,  4G015FC02 ,  4G015FC05 ,  4G015FC14