特許
J-GLOBAL ID:201403094261911230

流量センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 森下 賢樹 ,  村田 雄祐 ,  三木 友由 ,  松尾 卓哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-100579
公開番号(公開出願番号):特開2014-219359
出願日: 2013年05月10日
公開日(公表日): 2014年11月20日
要約:
【課題】対象装置に組み付ける流量センサの特性調整を容易に行えるようにする。【解決手段】流量センサ170は、吐出通路188に配置されることにより差圧を生成する絞り通路180と、絞り通路180の上流側圧力を導入するための高圧通路と、絞り通路180の下流側圧力を導入するための低圧通路と、高圧通路と低圧通路とを仕切るように配設されて上流側圧力と下流側圧力との差圧を感知して変位する感圧部材16と、を含むセンサボディ172と、感圧部材16の変位に応じた検出信号を出力する出力端子54が設けられるセンサヘッド174と、を備える。センサボディ172の一端側に絞り通路180が設けられる一方、センサボディ172の他端側にセンサヘッド174が一体に設けられ、圧縮機の取付穴178に絞り通路180の側から差し込まれるようにして取り付け可能な外形状を有する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
対象装置の主通路を流れる流体の流量を検出するための差圧式の流量センサであって、 前記主通路に配置されることにより差圧を生成する絞り部と、前記絞り部の上流側圧力を導入するための高圧通路と、前記絞り部の下流側圧力を導入するための低圧通路と、前記高圧通路と前記低圧通路とを仕切るように配設されて前記上流側圧力と前記下流側圧力との差圧を感知して変位する感圧部と、を含むセンサボディと、 前記感圧部の変位に応じた検出信号を出力する出力端子が設けられるセンサヘッドと、 を備え、 前記センサボディの一端側に前記絞り部が設けられる一方、前記センサボディの他端側に前記センサヘッドが一体に設けられ、前記対象装置の取付穴に前記絞り部の側から差し込まれるようにして取り付け可能な外形状を有することを特徴とする流量センサ。
IPC (2件):
G01F 1/38 ,  F04B 27/08
FI (3件):
G01F1/38 ,  F04B27/08 Z ,  F04B27/08 P
Fターム (8件):
2F030CA04 ,  2F030CC20 ,  3H076AA06 ,  3H076BB50 ,  3H076CC12 ,  3H076CC20 ,  3H076CC94 ,  3H076CC98
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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