特許
J-GLOBAL ID：201403094421024383
ハンドラーおよび検査装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 宮坂 一彦
, 渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-090050
公開番号（公開出願番号）：特開2014-215062
出願日： 2013年04月23日
公開日（公表日）： 2014年11月17日
要約：
【課題】対象物を迅速に均一に加熱することができるハンドラーおよび検査装置を提供すること。【解決手段】ハンドラーは、ICデバイス100を保持する保持ユニット20が装着される装着状態を取り得る保持ユニット装着部である回転部97と、保持ユニット20に保持されたICデバイス100を搬送する搬送機構9を備える。回転部97は、熱を発する発熱部973と、発熱部973で加熱されICデバイス100の加熱に用いられる流体Qが通過する加熱用流路972とを有する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
搬送対象物を保持する保持ユニットが装着される装着状態を取り得る保持ユニット装着
部と、
前記保持ユニットに保持された前記搬送対象物を搬送する搬送機構を備え、
前記保持ユニット装着部は、熱を発する発熱部と、前記発熱部で加熱され前記搬送対象
物の加熱に用いられる流体が通過する流路と、を有することを特徴とするハンドラー。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
2G003AA07
, 2G003AD03
, 2G003AD04
, 2G003AF02
, 2G003AF03
, 2G003AG01
, 2G003AG06
, 2G003AG11
, 2G003AG14
, 2G003AH01
, 2G003AH04
, 2G003AH05
