特許
J-GLOBAL ID：201403094675863067
研磨パッド再生加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-202444
公開番号（公開出願番号）：特開2014-054719
出願日： 2012年09月14日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
要約：
【課題】研磨使用後の研磨パッドの溝、孔及び表層を再生加工し、研磨パッドの再生利用を実現する研磨パッド再生加工装置を、研磨パッドの長寿命化、廃棄物量の削減及びコスト削減を図る目的で提供すること。【解決手段】コントローラ100が、研磨使用後の研磨パッド1の厚み計測、表層の切削量、表層を平坦に切削、溝及び孔の計測、溝及び孔の切削量又は溝及び孔の切削を多関節ロボット70に指令することにより、研磨使用後の研磨パッド1の溝、孔及び表層が修正加工され、研磨パッド1の再生利用を繰り返し行うことを可能にする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
溝加工を施す溝切削工具(13)の刃物(13a)と、
研磨使用後の研磨パッド(1)に係る溝位置(205a)、溝幅(200a)、溝深さ(203a)及び溝間隔(202a)の少なくとも一つ以上を計測する第二計測手段(K2)と、
前記第二計測手段(K2)の計測結果に基づき、研磨使用後の研磨パッド(1)に係る溝(2a)の状態に応じて溝幅(200a)及び溝深さ(203a)の少なくとも一方を修正加工する切削量を算出する第二演算部(M2)と、
該第二演算部(M2)からの信号を受信して、前記溝切削工具(13)を溝位置(205a)及び溝間隔(202a)の少なくとも一方に応じて作動させ、切削指令の機能を有する第二制御部(S2)と、を具備し、
該第二制御部(S2)が前記溝切削工具を作動させ研磨使用後の研磨パッド(1)に係る溝(2a)を切削することを特徴とする研磨パッド再生加工装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B37/00 A
, H01L21/304 622M
3C058AA07
, 3C058AC02
, 3C058BA09
, 3C058DA02
, 3C058DA17
, 5F057AA43
, 5F057BA22
, 5F057BB23
, 5F057BB32
, 5F057CA12
, 5F057DA03
, 5F057EB08
, 5F057EB27
, 5F057FA39
, 5F057GA29
