特許

J-GLOBAL ID：201403096106864970

Fe-Co系合金スパッタリングターゲット材およびその製造方法

発明者： 福岡 淳 ,  斉藤 和也 ,  坂巻 功一 ,  畠 知之
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (3件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  福田 浩志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-534880
特許番号：特許第5447743号
出願日： 2013年05月30日
要約：

【要約】 本発明は、原子比における組成式が(Fea-Co100-a)100-b-c-d-Tab-Nbc-Md(0<a≦80、0≦b≦10、0≦c≦15、5≦b+c≦15、2≦d≦20、15≦b+c+d≦25、Mは、Mo、CrおよびWからなる群から選ばれる1つ以上の元素を表す。)で表され、不可避的不純物からなる残部を含み、かつ300°Cにおける曲げ破断歪率εfBが0.4%以上であるFe-Co系合金スパッタリングターゲット材を提供する。

請求項（抜粋）：

【請求項1】 原子比における組成式が(Fea-Co100-a)100-b-c-d-Tab-Nbc-Md(0<a≦80、0≦b≦10、0≦c≦15、5≦b+c≦15、2≦d≦20、15≦b+c+d≦25、Mは、Mo、CrおよびWからなる群から選ばれる1つ以上の元素を表す。)で表され、不可避的不純物からなる残部を含み、かつ300°Cにおける曲げ破断歪率εfBが0.4%以上であるFe-Co系合金スパッタリングターゲット材。

IPC (1件)：

C23C 14/34 ( 200 6.01)

FI (1件)：

C23C 14/34 A