特許
J-GLOBAL ID：201403096175611480
荷電粒子線装置、試料観察システムおよび操作プログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
磯野 道造
, 多田 悦夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-527409
特許番号：特許第5416319号
出願日： 2013年03月15日
要約：
【要約】 初心者でも、観察条件の違いによる撮影結果の違いを容易に認識できるようにするため、荷電粒子線装置のパラメータ設定値の組み合わせである試料の観察条件を変更するための観察目的設定ボタン(E141)を操作画面(200)に複数表示するコンピュータを有し、処理部は、複数の観察目的設定ボタン(E141)にかかる観察条件の特徴を、相反した3つ以上の項目で表示するレーダチャート(E144)を操作画面(200)に表示させることを特徴とする。そして、そのレーダチャート(E144)には、高分解能、表面構造の強調および材料の違いの強調が項目として少なくとも表示される。
請求項（抜粋）：
【請求項1】 荷電粒子線装置のパラメータ設定値の組み合わせである試料の観察条件を変更するための観察目的設定ボタンを画像表示装置の画像表示部に複数表示する処理部
を有し、
前記処理部は、
複数の前記観察目的設定ボタンにかかる観察条件の特徴を、相反した3つ以上の項目で表示する観察条件特徴表示を前記画像表示部に表示させる
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (2件)：
H01J 37/24 ( 200 6.01)
, H01J 37/28 ( 200 6.01)
H01J 37/24
, H01J 37/28 B
