特許
J-GLOBAL ID：201403096763385453

欠陥検出方法

発明者：
杉原 真児

杉原 真児 について

, 
小川 力

小川 力 について

, 
井上 広

井上 広 について


出願人/特許権者：
株式会社ニューフレアテクノロジー

株式会社ニューフレアテクノロジー について


代理人 (2件)： 大阿久 敦子 ,  山下 一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-184034
公開番号（公開出願番号）：特開2014-041081
出願日： 2012年08月23日
公開日（公表日）： 2014年03月06日
要約：
【課題】微細なパターンの欠陥を検出することのできる欠陥検出方法を提供する。【解決手段】光学系を構成する光源からの光を照射して、光学系の解像度以下の寸法の繰り返しパターンを有する試料の光学画像を、光学系の条件を変えて複数取得する。次いで、複数の光学画像について、ノイズフィルタおよび畳み込みフィルタの少なくとも一方を用いた補正処理を行う。次に、複数の光学画像のいずれかを基準として他の光学画像の位置をシフトし、他の光学画像のシフト量と、複数の光学画像同士における階調値の相関の変化との関係を求め、相関が最も高くなるときのシフト量を基に複数の光学画像の位置合わせを行う。その後、位置合わせ後の複数の光学画像を用いて、試料の欠陥検出を行う。欠陥検出は、複数の光学画像の各画素を階調値空間にプロットし、欠陥のある画素と欠陥のない画素とを分離することにより行う。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
光学系を構成する光源からの光を照射して、前記光学系の解像度以下の寸法の繰り返しパターンを有する試料の光学画像を、前記光学系の条件を変えて複数取得する工程と、 前記複数の光学画像について、ノイズフィルタおよび畳み込みフィルタの少なくとも一方を用いた補正処理を行う工程と、 前記複数の光学画像のいずれかを基準として他の光学画像の位置をシフトし、前記他の光学画像のシフト量と、前記複数の光学画像同士における階調値の相関の変化との関係を求め、前記相関が最も高くなるときの前記シフト量を基に前記複数の光学画像の位置合わせを行う工程と、 前記位置合わせ後の前記複数の光学画像を用いて、前記試料の欠陥検出を行う工程とを有することを特徴とする欠陥検出方法。
IPC (4件)：
G01N 21/956 ,  G06T 1/00 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G01N21/956 A ,  G06T1/00 305A ,  G01B11/30 A ,  H01L21/30 502D ,  H01L21/30 502V
Fターム (86件)：
2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC18 ,  2F065DD03 ,  2F065EE08 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065FF55 ,  2F065GG21 ,  2F065HH04 ,  2F065HH15 ,  2F065HH16 ,  2F065HH17 ,  2F065JJ00 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL36 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ43 ,  2F065TT02 ,  2F065UU05 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051AC04 ,  2G051BA05 ,  2G051BA11 ,  2G051BB07 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G051CC09 ,  2G051CC11 ,  2G051DA08 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EB05 ,  2G051EC03 ,  2G051EC06 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB02 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CD02 ,  5B057CD12 ,  5B057CE02 ,  5B057CE03 ,  5B057CE06 ,  5B057CE08 ,  5B057CE11 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB09 ,  5B057DC22 ,  5B057DC32 ,  5F146AA32
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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