特許

J-GLOBAL ID：201403096913252309

振動ミラー素子およびプロジェクタ機能を有する電子機器

発明者： 村山 学
出願人/特許権者： 船井電機株式会社
代理人 (1件)： 宮園 博一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-005868
公開番号（公開出願番号）：特開2014-137470
出願日： 2013年01月17日
公開日（公表日）： 2014年07月28日
要約：

【課題】ミラー部の歪みを十分に抑制することが可能な振動ミラー素子を提供する。【解決手段】このレーザ走査部1(振動ミラー素子)は、回転軸線A周りに傾斜可能なように形成されたミラー部11と、直交中心線B上に位置するミラー部11の端部11aおよび11bとそれぞれ接続され、傾斜可能なフレーム部12および13と、電圧印加により変形する圧電体3bを含む駆動部16および17と、フレーム部12および13と駆動部16および17とを連結し、駆動部16および17の圧電体3bが変形することによって傾斜可能な連結梁14および15とを備え、フレーム部12および13は、連結梁14および15が傾斜することによって傾斜するように構成されており、ミラー部11は、フレーム部12および13が傾斜することによって傾斜するように構成されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

回転軸線周りに傾斜可能なように形成され、光を反射させるためのミラー部と、 前記回転軸線と交差する交差線上に位置する前記ミラー部のミラー端部に接続され、傾斜可能なフレーム部と、 電圧印加により変形する圧電体を含む駆動部と、 前記フレーム部と前記駆動部とを連結し、前記駆動部の圧電体が変形することによって傾斜可能な連結部とを備え、 前記フレーム部は、前記連結部が傾斜することによって傾斜するように構成されており、 前記ミラー部は、前記フレーム部が傾斜することによって傾斜するように構成されている、振動ミラー素子。

IPC (3件)：

G02B 26/10 ,  G02B 26/08 ,  B81B 3/00

FI (3件)：

G02B26/10 104Z ,  G02B26/08 E ,  B81B3/00

Fターム (25件)：

2H045AB24 ,  2H045AB38 ,  2H045CB65 ,  2H045DA02 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC09 ,  2H141MD12 ,  2H141MD17 ,  2H141MD20 ,  2H141MD24 ,  2H141ME25 ,  2H141MF17 ,  2H141MG04 ,  2H141MZ03 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ16 ,  3C081AA13 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA46 ,  3C081BA47 ,  3C081BA55 ,  3C081EA08 ,  3C081EA12