特許
J-GLOBAL ID：201403097079372268
分割体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-055205
公開番号（公開出願番号）：特開2014-180703
出願日： 2013年03月18日
公開日（公表日）： 2014年09月29日
要約：
【課題】被切断部材の中央部および周辺部を切断して分割体を形成する切断工程を備える分割体の製造方法において、被切断部材に反りが生じている場合であっても、寸法精度よく切断を行えるようにする。【解決手段】切断工程は、被切断部材10を吸着治具20の搭載面21上に搭載し、被切断部材10の中央部側に位置する吸引穴22aでは吸引をオンとし、被切断部材10の周辺部側に位置する吸引穴22bでは吸引をオフとすることにより、被切断部材10の中央部側を吸着治具20に固定した状態で、被切断部材10の中央部にて切断を行う第1の切断工程と、第1の切断工程の後、被切断部材10の全面にて吸引穴22a、22bの吸引をオンとした状態で、被切断部材10の周辺部にて切断を行う第2の切断工程と、を備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
板状をなす剛体であって中央部および周辺部にて切断される被切断部材(10)と、
前記被切断部材を搭載する搭載面(21)を有し、前記搭載面には前記被切断部材を吸引して固定するための複数個の吸引穴(22a、22b)が前記被切断部材の中央部側から周辺部側に渡る全面に設けられている吸着治具(20)と、を用意する用意工程と、
前記被切断部材を前記吸着治具の前記搭載面上に搭載し、前記吸引穴にて吸引をオンとして前記被切断部材を前記吸着治具に支持させた状態にて、前記被切断部材の中央部および周辺部を切断して分割体(10a)を形成する切断工程と、を備える分割体の製造方法であって、
前記切断工程は、前記被切断部材を前記吸着治具の前記搭載面上に搭載し、前記被切断部材の中央部側に位置する前記吸引穴(22a)では吸引をオンとし、前記被切断部材の周辺部側に位置する前記吸引穴(22b)では吸引をオフとすることにより、前記被切断部材の中央部側を前記吸着治具に固定した状態で、前記被切断部材の中央部にて切断を行う第1の切断工程と、
前記第1の切断工程の後、前記被切断部材の全面にて前記吸引穴の吸引をオンとした状態で、前記被切断部材の周辺部にて切断を行う第2の切断工程と、を備えるものであることを特徴とする分割体の製造方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
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