リソグラフィシステムのための支持モジュール

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：蔵田昌俊 , 福原淑弘 , 野河信久 , 峰隆司 , 砂川克
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-530621
公開番号（公開出願番号）：特表2014-532301
出願日： 2012年09月17日
公開日（公表日）： 2014年12月04日
要約：

本発明は、フレームと、荷重を支持するための支持体を備えている、たとえばリソグラフィシステム内での使用のための、支持構造体および支持モジュールに関し、前記支持体は前記フレームに対して移動可能であり、前記支持構造体は、前記支持体および/または前記荷重を少なくとも部分的に支持するために前記支持体を前記フレームに連結している力補正スプリングアッセンブリーをさらに備えており、前記力補正スプリングアッセンブリーは、スプリングの運動のあらかじめ定められた範囲にわたって負剛性特性を有している第一のスプリングと、正剛性を有している第二のスプリングを備えている。

請求項（抜粋）：

荷重を支持するための支持モジュールであり、前記荷重は、好ましくはリソグラフィシステムにおいてパターン形成されるターゲットを備えており、前記モジュールは、前記荷重を支持するための支持体と、三つの支持構造体を備えており、前記支持構造体は、おのおの、・フレームと、・前記支持体および/または前記荷重を少なくとも部分的に支持するために前記支持体を前記フレームに連結している力補正スプリングアッセンブリーを備えており、前記力補正スプリングアッセンブリーは、スプリングの運動のあらかじめ定められた範囲にわたって負剛性特性を有している第一のスプリングと、正剛性を有している第二のスプリングを備えている、モジュールにおいて、前記三つの支持構造体のおのおのの前記フレームは、互いに実質的に堅固に取り付けられており、前記支持体は、前記フレームに対して移動可能であるように前記三つの力補正スプリングアッセンブリーに連結されていることを特徴とする支持モジュール。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , F16F 15/06 , F16F 1/18 , H01L 21/68

FI (5件)：

H01L21/30 503F , F16F15/06 A , H01L21/30 541G , F16F1/18 Z , H01L21/68 K

Fターム (33件)：

3J048AA01 , 3J048AB01 , 3J048AD05 , 3J048BC04 , 3J048CB01 , 3J048DA01 , 3J048EA13 , 3J059AC03 , 3J059BA11 , 3J059BB02 , 3J059BC01 , 3J059BD03 , 3J059EA15 , 3J059GA31 , 3J059GA41 , 3J059GA50 , 5F056EA17 , 5F131AA02 , 5F131BA13 , 5F131CA47 , 5F131EA02 , 5F131EA13 , 5F131EA14 , 5F131EA15 , 5F131EA16 , 5F131EA18 , 5F131EA22 , 5F131EA23 , 5F131EA24 , 5F131EA25 , 5F131EA27 , 5F131FA17 , 5F146AA23

引用特許：

審査官引用 (3件)

全方向振動絶縁懸垂システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-111206 出願人：プラタス,デイビッドエル.
免震装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-157675 出願人：石川島播磨重工業株式会社
除振方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-020678 出願人：独立行政法人科学技術振興機構

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