特許

J-GLOBAL ID：201403097676587844

プローブカード

発明者： 木本 軍生
出願人/特許権者： 木本 軍生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-079949
公開番号（公開出願番号）：特開2014-182120
出願日： 2013年03月18日
公開日（公表日）： 2014年09月29日
要約：

【課題】 狭ピッチな周辺配列パッド又は格子状配列パッドを有するICの検査が容易なプローブカードを提供する。【解決手段】 垂直プローブ部と、配線基板に接続する端子と、前記垂直プローブ部と前記端子とを接続するパターンとを含むプローブが複数個同一平面上に配置されたプローブ集合体を複数枚規則的に配列したプローブ組立体と、配線基板とから成り、前記プローブと半導体回路の内部又は周辺部に形成された検査パッドとを接続させてプローブと半導体回路との導通を行うプローブカードにおいて、1つのプローブ集合体における垂直プローブ部先端の一部又は全てが、狭ピッチに一列に配列された検査パッド列の一部又は全てのパッドに接触すべく配列する手段を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

垂直プローブ部と、配線基板に接続する端子と、前記垂直プローブ部と前記端子とを接続するパターンとを含むプローブが複数個同一平面上に配置されたプローブ集合体を複数枚規則的に配列したプローブ組立体と、配線基板とから成り、 前記プローブと半導体回路の内部又は周辺部に形成された検査パッドとを接続させてプローブと半導体回路との導通を行うプローブカードにおいて、 1つの前記プローブ集合体における垂直プローブ部先端の一部又は全てが、狭ピッチに一列に配列された前記検査パッド列の一部又は全てのパッドに接触すべく配列されたことを特徴とするプローブカード。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R1/073 E ,  H01L21/66 B

Fターム (10件)：

2G011AA15 ,  2G011AA16 ,  2G011AB01 ,  2G011AB06 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106DD03 ,  4M106DD10