特許
J-GLOBAL ID:201403097751620453

液中電位計測装置、及び、原子間力顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 新居 広守
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2011004325
公開番号(公開出願番号):WO2012-060033
出願日: 2011年07月29日
公開日(公表日): 2012年05月10日
要約:
液中での表面電位計測が可能な液中電位計測装置を提供するため、本発明に係る液中電位計測装置(200)は、自由端側に探針を備えるカンチレバー(204)と、カンチレバー(204)の先端の変位に対応付けられた電圧を出力する変位計測部(206)と、探針と試料との間に交流電圧を印加する交流電源(201)と、信号検出部(207)とを備えており、交流電源が出力する交流電圧の周波数は、10kHz以上であり、信号検出部は、変位計測部によって出力される電圧のうち、交流電源が出力する交流電圧の周波数と同じ周波数の周波数成分の大きさと、交流電源が出力する交流電圧の周波数の2倍の周波数の周波数成分の大きさと、変位計測部によって出力される電圧に含まれる周波数成分であって、交流電源が出力する交流電圧の周波数と同じ周波数の周波数成分のうち、交流電源が出力する交流電圧と同位相の成分とを出力する。
請求項(抜粋):
液中の試料の表面電位を計測する液中電位計測装置であって、 電極と、 前記電極と、前記試料との間の静電気力に対応付けられた電圧を出力する静電気力計測部と、 前記電極と、前記試料との間に交流電圧を印加する交流電源と、 前記静電気力計測部によって出力される電圧に含まれる特定の周波数成分の信号を検出し、検出された信号に対応する値を出力する信号検出部とを備えており、 前記交流電源が出力する交流電圧の周波数は、10kHz以上であり、 前記信号検出部は、(1)前記静電気力計測部によって出力される電圧のうち、前記交流電源が出力する交流電圧の周波数と同じ周波数の周波数成分の大きさと、(2)前記静電気力計測部によって出力される電圧のうち、前記交流電源が出力する交流電圧の周波数の2倍の周波数の周波数成分の大きさと、(3)前記静電気力計測部によって出力される電圧に含まれる周波数成分であって、前記交流電源が出力する交流電圧の周波数と同じ周波数の周波数成分のうち、前記交流電源が出力する交流電圧と同位相の成分とを出力する 液中電位計測装置。
IPC (2件):
G01Q 60/30 ,  G01Q 30/14
FI (2件):
G01Q60/30 ,  G01Q30/14

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