圧力センサ及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人かいせい特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-117551
公開番号（公開出願番号）：特開2014-235106
出願日： 2013年06月04日
公開日（公表日）： 2014年12月15日
要約：

【課題】金属ステムのダイヤフラムに対するセンサ素子の位置ずれを防止することができる圧力センサを提供する。【解決手段】金属ステム20は、ダイヤフラム23のうち接合ガラス30が配置された基準面25から突出するように当該金属ステム20の一端部22に設けられた凸部26を有している。また、凸部26は、金属ステム20の一端部22において接合ガラス30の周囲に位置している。さらに、凸部26の高さは、基準面25を基準とした接合ガラス30の厚みに対して20%以上の高さである。これにより、凸部26によってダイヤフラム23に対する接合ガラス30の位置が規制されるので、ダイヤフラム23に対する接合ガラス30の位置ずれを防止することができ、ひいてはダイヤフラム23に対するセンサ素子40の位置ずれを防止することができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

圧力媒体が導入される圧力導入孔(21)が設けられた中空筒形状であって、前記圧力導入孔(21)の一方を閉じるように前記中空筒形状の一端部(22)に設けられていると共に前記圧力導入孔(21)に導入された前記圧力媒体の圧力によって歪むダイヤフラム(23)を有する金属ステム(20)と、前記金属ステム(20)の一端部(22)のうち前記ダイヤフラム(23)において前記圧力導入孔(21)とは反対側に設けられた接合ガラス(30)と、前記接合ガラス(30)を介して前記ダイヤフラム(23)に接合され、前記ダイヤフラム(23)の歪みに応じたセンサ信号を出力するセンサ素子(40)と、を備え、前記金属ステム(20)は、前記ダイヤフラム(23)のうち前記接合ガラス(30)が配置された基準面(25)から突出するように当該金属ステム(20)の一端部(22)に設けられた凸部(26)を有しており、前記凸部(26)は、前記金属ステム(20)の一端部(22)において前記接合ガラス(30)の周囲に位置しており、前記凸部(26)の高さは、前記基準面(25)を基準とした前記接合ガラス(30)の厚みに対して20%以上の高さであることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/00 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01L9/00 303C , H01L29/84 B , H01L29/84 A

Fターム (19件)：

2F055AA40 , 2F055CC02 , 2F055DD01 , 2F055DD05 , 2F055EE14 , 2F055FF43 , 2F055FF49 , 2F055GG14 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112CA01 , 4M112CA03 , 4M112CA04 , 4M112CA07 , 4M112CA12 , 4M112DA18 , 4M112EA13 , 4M112FA20 , 4M112GA01

引用特許：

出願人引用 (4件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-344345 出願人：株式会社デンソー
特開平2-271234
チップ接合型物理量検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-350184 出願人：日本精機株式会社

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審査官引用 (4件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-344345 出願人：株式会社デンソー
特開平2-271234
チップ接合型物理量検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-350184 出願人：日本精機株式会社

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