特許
J-GLOBAL ID：201403098264532766

メタルマスクおよびメタルマスクの製造方法

発明者：
池 永 知加雄

池 永 知加雄 について

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落 合 洋 光

落 合 洋 光 について

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真 木 淳

真 木 淳 について

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青 木 大 吾

青 木 大 吾 について

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廣 部 吉 紀

廣 部 吉 紀 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (4件)： 勝沼 宏仁 ,  永井 浩之 ,  磯貝 克臣 ,  堀田 幸裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-003507
公開番号（公開出願番号）：特開2014-133930
出願日： 2013年01月11日
公開日（公表日）： 2014年07月24日
要約：
【課題】極めて高精細なパターニングを行うことを可能とするメタルマスクの製造方法を提供する。【解決手段】メタルマスクの製造方法は、第1面34aおよび第1面とは反対側の第2面34bを有する金属板34を第1面の側からエッチングして、曲面状の壁面を有し先細りする凹部61を第1面の側から形成する工程と、各凹部61内にレーザ光を照射して、当該凹部61から第2面まで延びる穴62を形成する工程と、を備える。凹部と穴とによって金属板の第1面と第2面との間を貫通する貫通孔25を形成する。前記穴を形成する工程において、凹部の曲面状の壁面に接続し且つ第1面の側から第2面の側へ向けて先細りするように穴が形成される。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
第1面および前記第1面とは反対側の第2面を有する金属板を前記第1面の側からエッチングして、曲面状の壁面を有し先細りする凹部を前記第1面の側から形成する工程と、 各凹部内にレーザ光を照射して、当該凹部から前記第2面まで延びる穴を形成する工程と、を備え、 前記凹部と前記穴とによって前記金属板の前記第1面と前記第2面との間を貫通する貫通孔を形成してメタルマスクを製造する方法であって、 前記穴を形成する工程において、前記凹部の前記曲面状の壁面に接続し且つ前記第1面の側から前記第2面の側へ向けて先細りするように前記穴が形成される、メタルマスクの製造方法。
IPC (3件)：
C23C 14/04 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (3件)：
C23C14/04 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (11件)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC35 ,  3K107CC45 ,  3K107GG33 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029CA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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