特許
J-GLOBAL ID：201403099028494027
蒸着マスクの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小川 護晃
, 西山 春之
, 奥山 尚一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-053207
公開番号（公開出願番号）：特開2014-177682
出願日： 2013年03月15日
公開日（公表日）： 2014年09月25日
要約：
【課題】マスクシートの全面に亘って均等な張力を付与してフレームに固定する。【解決手段】複数の開口パターンを形成したメタルマスクシート4を架張して枠状の金属フレーム7に固定した構造の蒸着マスクの製造方法であって、一定の張力がかけられた合成繊維のメッシュ1にメタルマスクシート4の周縁部を接着する第1ステップと、メタルマスクシート4の複数の開口パターンを内包する大きさの蒸着有効領域に対応したメッシュ1の部分を切除する第2ステップと、メタルマスクシート4の周縁部にメッシュ1とは反対側からフレーム7を接合して固定する第3ステップと、メッシュ1をメタルマスクシート4から除去する第4ステップと、を行うものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の開口パターンを形成したマスクシートを架張して枠状の金属フレームに固定した構造の蒸着マスクの製造方法であって、
一定の張力がかけられた合成繊維のメッシュに前記マスクシートの周縁部を接着する第1ステップと、
前記マスクシートの前記複数の開口パターンを内包する大きさの蒸着有効領域に対応した前記メッシュの部分を切除する第2ステップと、
前記マスクシートの周縁部に前記メッシュとは反対側から前記フレームを接合して固定する第3ステップと、
前記メッシュを前記マスクシートから除去する第4ステップと、
を行うことを特徴とする蒸着マスクの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
4K029BB03
, 4K029CA01
, 4K029HA02
, 4K029HA03
