特許
J-GLOBAL ID：201403099118454059

ワーク分割装置及びワーク分割方法

発明者：
清水 翼

清水 翼 について

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藤田 隆

藤田 隆 について

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小島 恒郎

小島 恒郎 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-209490
公開番号（公開出願番号）：特開2014-063953
出願日： 2012年09月24日
公開日（公表日）： 2014年04月10日
要約：
【課題】ダイシングテープの弛みによるチップの品質低下等を防ぐようにしたワーク分割装置及びワーク分割方法を提供する。【解決手段】ダイシングテープSにDAFを介して貼付されたワークを、予め形成された分断予定ラインに沿って個々のチップTに分割するワーク分割装置において、ワークを保持するワーク保持位置を有し、ワークを保持する同位置において、分断予定ラインを有する半導体ウェハからなるワークをとりまく雰囲気を冷却することによってワークの分断予定ラインを含むワークを冷却する雰囲気冷却手段10と、冷却後、ダイシングテープSをエキスパンドしてワーク及びダイアタッチフィルムを分割するワーク分割手段11と、ダイシングテープSのエキスパンドによる弛みを機械的に排除する弛み排除手段13と、を備えた。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ダイシングテープにダイアタッチフィルムを介して貼付されたワークを、予め形成された分断予定ラインに沿って個々のチップに分割するワーク分割装置において、 前記ワークを保持するワーク保持位置を有し、
IPC (1件)：
H01L 21/301
FI (1件)：
H01L21/78 X
引用特許：
審査官引用 (4件)
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