特許
J-GLOBAL ID:201403099788180138

バンプコイニングヘッド

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 糟谷 敬彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-043419
公開番号(公開出願番号):特開2014-175315
出願日: 2013年03月05日
公開日(公表日): 2014年09月22日
要約:
【課題】バンプコイニングヘッドのバンププレス冶具と電子部品の面との平行調整が容易なバンプコイニングヘッドを提供する。【解決手段】基板保持台90に保持された電子部品5のバンプ6の頂部を押圧するバンプコイニングヘッド1であって、バンプコイニングヘッド1は、取付部材20とバンププレス冶具70と角度調整部材を有する。角度調整部材の第1調整盤30の下面に湾曲凹部を形成し、第2調整盤40の上面に第1調整盤の湾曲凹部に嵌合する湾曲凸部を形成し、第2調整盤40の下面に第1調整盤30の湾曲凹部と直角に湾曲凹部を形成し、第3調整盤50の上面に第2調整盤40の下面の湾曲凹部に嵌合する湾曲凸部を形成し、基板保持台90とバンププレス冶具70の下面の角度を維持する角度保持部材を有する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
電子部品の表面に形成された複数のバンプの頂部を平坦な面に形成するバンプ平坦化装置の先端に取付けられて、基板保持台に保持された上記電子部品のバンプの頂部を押圧するバンプコイニングヘッドであって、 該バンプコイニングヘッドは、上記バンプ平坦化装置にバンプコイニングヘッドを取付ける取付部材と、上記電子部品のバンプの頂部に当接するバンププレス冶具と、上記取付部材に取付けられて該バンププレス冶具を取付けて、上記バンププレス冶具の下面の角度を調整する角度調整部材を有し、 該角度調整部材は、少なくとも3個の調整盤を有し、第1調整盤の下面に断面形状が円弧状又は三角形状で該第1調整盤と平行に連続する湾曲凹部を形成し、第2調整盤の上面に上記第1調整盤の下面に形成された湾曲凹部に嵌合する断面形状が円弧状で該第2調整盤と平行に連続する湾曲凸部を形成するとともに、上記第2調整盤の下面に、上記第1調整盤の下面に形成された湾曲凹部と直角に断面形状が円弧状又は三角形状で上記第2調整盤と平行に連続する湾曲凹部を形成し、第3調整盤の上面に上記第2調整盤の下面に形成された湾曲凹部に嵌合する断面形状が円弧状で上記第3調整盤と平行に連続する湾曲凸部を形成し、 上記第2調整盤が上記第1調整盤に対して角度が調整可能に保持され、上記第3調整盤が上記第2調整盤に対して上記第1調整盤に対して調整される角度とは直角方向の角度が調整可能に保持されるとともに、上記電子部品が保持された上記基板保持台と上記バンププレス冶具の下面が平行に位置したときにその角度を維持する角度保持部材を有することを特徴とするバンプコイニングヘッド。
IPC (1件):
H01L 21/60
FI (1件):
H01L21/92 604Z

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