{{ $t("message.ADVERTISEMENT") }}
{{ $t("message.AD_EXPIRE_DATE") }}2024年03月
文献
J-GLOBAL ID:201502200066478350   整理番号:15A0959452

スマート社会に向けて進歩するMEMS技術 集積化技術やMEMS構造を用いた弾性波デバイスとその応用

著者 (2件):
資料名:
巻: 85  号:ページ: 693-700  発行年: 2015年09月01日 
JST資料番号: F0157A  ISSN: 0368-6337  CODEN: KNZKA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
表面弾性波(SAW)ラダーフィルタは,その優れた高周波(RF)特性などの特徴を活かし,携帯型移動体通信機器に広く用いられている。本稿では,MEMS技術を用いたSAW素子と強誘電体バラクタ素子の集積による可変フィルタの試作,及び超広帯域弾性波フィルタなどの研究例を紹介した。まず,SAW共振子に直列Csあるいは並列Cpに容量を接続しことで周波数・帯域可変フィルタを実現することを述べた。次に,サファイア基板上に高温で形成したチタン酸バリウムストロンチウム(BST)薄膜のレーザ支援転写による圧電基板(タンタル酸リチウム(LT))上へのモノリシック集積化により可変SAWフィルタのワンチップ化を実現した例を紹介した。次に,地上波デジタル(DTV)帯をカバーする広帯域フィルタを薄膜化技術により試作した例について述べた。ここで実現した広域帯フィルタは,小型で良好な特性を持つコグニティブ無線の実現に有効と考える。
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ(有料)でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。

準シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ(有料)でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。

分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般  ,  弾性表面波デバイス 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです

前のページに戻る