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J-GLOBAL ID：201502200248782888   整理番号：15A1032195

選択的水熱合成による垂直整列ZnOナノロッドアレイに基づくUV光検出器の製作と最適化

Fabrication and Optimization of Vertically Aligned ZnO Nanorod Array-Based UV Photodetectors via Selective Hydrothermal Synthesis

著者 (3件)： KO Yeong Hwan (Kyung Hee Univ., Gyeonggi-do, KOR) ,  NAGARAJU Goli (Kyung Hee Univ., Gyeonggi-do, KOR) ,  YU Jae Su (Kyung Hee Univ., Gyeonggi-do, KOR)
資料名： Nanoscale Research Letters (Web)  (Nanoscale Research Letters (Web))
巻： 10  号： 1  ページ： 10:323 (WEB ONLY)  発行年： 2015年12月 
JST資料番号： U7001A  ISSN： 1931-7573  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 垂直整列ZnOナノロッドアレイ(NRA)に基づく紫外線(UV)光検出器(PDs)を簡単な水熱プロセスにより製作した。シャドウマスク技術を使って,薄いZnOシード層電極をブリッジするパターン形成したAu/Ti電極間に析出させた。このように,二つのAu電極はZnOシード層により接続できた。試料を成長溶液中に浸漬し90°Cまで加熱すると,ZnO NRAsは結晶化しZnOシード層上に垂直に成長し,そして金属-半導体-金属PD構造を作った。ZnO NRAsのサイズ効果を調べるために各種成長溶液で直ちに製作した。濃度25mMで成長させたZnO NRAsに対して,チャネル幅(即ち,二つの電極間のギャップ距離)10μmのPDは,UV光照射の365nm下10Vの供給電圧で1.91×10^-4Aの高い光電流を示した。PDはチャネル幅を調整して最適化した。チャネル幅15μmに対して,同じ供給バイアスにおいて比較的高い光電流オンオフ比37.4と良好な電流過渡特性が見られた。これらの結果は,コスト効率のよい実際的UV PDアプリケーションにとって有用であると期待される。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ナノロッド ,  *酸化亜鉛 ,  配列 ,  *水熱合成 ,  光検出器 ,  シャドウマスク ,  MIM構造 ,  サイズ効果 ,  幅 ,  MOS構造 ,  比率 ,  光電流
準シソーラス用語： *ZnOナノロッド ,  オンオフ比 ,  チャネル幅 ,  ナノロッドアレイ

分類 (1件)： 測光と光検出器一般  (BD07031F)

タイトルに関連する用語 (8件)： 水熱合成 ,  垂直整列 ,  ZnOナノロッド ,  アレイ ,  UV光 ,  検出器 ,  製作 ,  最適化