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J-GLOBAL ID：201502200576401963   整理番号：14A1414263

2次元精密ステージの離散点の測定結果のための新しい誤差分離法【Powered by NICT】

A New Error Separation Method for Measurement Results of Discrete Points of 2D Precision Stage

著者 (6件)： Guo Tiantai (China Jiliang Univ., Zhejiang, Hangzhou) ,  Wang Xiaoxiao (China Jiliang Univ., Zhejiang, Hangzhou) ,  Hong Bo (China Jiliang Univ., Zhejiang, Hangzhou) ,  Zhao Jun (China Jiliang Univ., Zhejiang, Hangzhou) ,  Kong Ming (China Jiliang Univ., Zhejiang, Hangzhou) ,  Gao Sitian (National Inst. of Metrology, Beijing)
資料名： Jiliang Xuebao  (Jiliang Xuebao)
巻： 35  号： 2  ページ： 113-119  発行年： 2014年 
JST資料番号： C2540A  ISSN： 1000-1158  CODEN： JIXUEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 精密ステージのシステム誤差を分離するために,分離のための新しい方法を提案した。補助測定グリッド板と2D段階の異なる位置を測定した。グリッド板及びそれらの対応する公称値にマーク点の測定データによると,誤差分離のための数学モデルを確立し,測定結果から誤差を分離できた。アルゴリズムの有効性をシミュレーションにより検証した。シミュレーション結果は,測定ノイズと,アルゴリズムは完全な誤差分離を実現できず,測定ノイズが存在する場合の,標準偏差計算値と与えられた値の相対誤差は1.95%と1 52%でそれぞれX軸とY軸であることを示した。異なる振幅を持つ雑音に対して,システム誤差の計算値は安定であった。アルゴリズムは雑音に敏感でなく,測定結果,機器性能の評価に非常に有用である。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *数学モデル
準シソーラス用語： 計算値 ,  相対誤差 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 2次元 ,  ステージ ,  測定結果 ,  誤差 ,  分離法