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J-GLOBAL ID：201502201945234585   整理番号：15A1169147

ゾル-ゲル調製された(K,Na)NbNO₃薄膜の構造的及びナノ機械的特性

Structural and nanomechanical properties of sol-gel prepared (K, Na)NbO₃ thin films

著者 (4件)： BRUNCKOVA Helena (Inst. of Materials Res., Slovak Acad. of Sciences, Watsonova 47, 040 01, Kosice, SVK) ,  MEDVECKY Lubomir (Inst. of Materials Res., Slovak Acad. of Sciences, Watsonova 47, 040 01, Kosice, SVK) ,  HVIZDOS Pavol (Inst. of Materials Res., Slovak Acad. of Sciences, Watsonova 47, 040 01, Kosice, SVK) ,  DURISIN Juraj (Inst. of Materials Res., Slovak Acad. of Sciences, Watsonova 47, 040 01, Kosice, SVK)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 47  号： 11  ページ： 1063-1071  発行年： 2015年11月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ペロブスカイト(K,Na)NbNO₃(KNN)薄膜(~100nm)をPt/SiO₂/Si基板上にゾル-ゲル/スピンコーティング過程により調製し,650°Cにおいてアニールした。KNN膜の構造的特性はX線回折分析(XRD),Raman分光及び走査電子,透過電子及び原子間力顕微鏡(SEM,TEM及びAFM)分析により確かめた。膜における単斜晶対称の非化学量論的組成のK_0.65Na_0.35NbNO₃の純粋なペロブスカイト構造が示された。粗さ(~6.9nm)のKNNの一様に均一なマイクロ構造は球状粒子(~50~90nm)を含んだ。KNN膜の機械的特性をキャラクタライズするためナノ押し込技術を用いた。Pt,SiO₂,及びKNN薄膜の弾性率及び硬度はKNN/Pt/SiO₂/Si膜/基板系のそれらの複合材値から計算した。KNN膜の弾性率及び硬度(71及び4.5GPa)はSiO₂(100及び7.5GPa)と比べて低かった。Pt膜(~30nm)は複合材弾性率に影響しなかったがKNN膜の硬度に効果を有した。Copyright 2015 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ゾル-ゲル法 ,  *カリウム化合物 ,  *硝酸塩 ,  *ナトリウム化合物 ,  *ニオブ化合物 ,  *薄膜 ,  *機械的性質 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  ナノインデンテーション ,  弾性係数 ,  硬度 ,  スピンコーティング
準シソーラス用語： *ナノメカニカル特性

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  塩  (CD01050V)

タイトルに関連する用語 (6件)： ゾル ,  ゲル ,  調製 ,  Na ,  薄膜 ,  機械的特性