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J-GLOBAL ID：201502202029204323   整理番号：15A0350577

結合磁性粉末に基づく硬質磁性マイクロアクチュエータ作製のためのハイブリッド技術の概観

A review of the hybrid techniques for the fabrication of hard magnetic microactuators based on bonded magnetic powders

著者 (2件)： PALLAPA M (Univ. Waterloo, Ontario, CAN) ,  YEOW J T W (Univ. Waterloo, Ontario, CAN)
資料名： Smart Materials and Structures  (Smart Materials and Structures)
巻： 24  号： 2  ページ： 025007,1-12  発行年： 2015年02月 
JST資料番号： W0480A  ISSN： 0964-1726  CODEN： SMSTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 永久磁気で結合した粉末に基づく高分子複合材料は,完全に緻密な比較対象物に匹敵する磁気性能を持つマイクロアクチュエータとセンサへ応用する大きな可能性を示す。スパッタリング,蒸着,パルスレーザ堆積及び電気化学堆積のような従来の作製技術は,低温プロセス及び決められた形状によって制限されるが,一方,この結合磁性粉末を高分子マトリックスに一体化することは,この問題を解決することになる。低電力,高磁気密度及び構造柔軟性磁気構造を設計するためには,フィルタ材料粒子サイズ,結合粉末の等方性あるいは異方性性質,両立できる高分子マトリックス,実効的容積負荷及び予備硬化整列磁場を詳細に考慮する必要がある。複製造型,スキージ被覆,スピンキャスティング,インクジェット印刷,スクリーン印刷及びテープキャスティングのようなハイブリッド作製法は,高分子結合硬質磁気微細構造を作製するために用いることができる技術である。前述した方法は,バッチ製作で高アスペクト比の微細特徴サイズを作製する能力を持つ。このことは,微細製造に取って重要な基準である。結合磁気粉末及び高分子マトリックスを用いて磁気膜及び磁気アクチュエータを作製するためのハイブリッド技術を用いた例を表に示す。この方法は,音声コイル型アクチュエータ,マイクロポジショナ,マイクロ流体における流体制御バルブ及びポンプ,マイクロステッパ及びサーボモータ,マイクロミラー,光学スイッチ,及び,マイクロスキャナの実現に必要な強い磁気性能を持つ一体型あるいは集積型磁気膜及び構造の作製に適している。

シソーラス用語： *技術展望 ,  *マイクロアクチュエータ ,  *ハイブリッド系 ,  磁性 ,  永久磁石 ,  高分子 ,  磁気ヒステリシス ,  造型 ,  被覆 ,  インクジェット印刷 ,  スクリーン印刷 ,  アスペクト比

分類 (2件)： 電気式制御機器  (IC02020Y) ,  電磁機器  (NB10030C)

タイトルに関連する用語 (5件)： 磁性粉末 ,  硬質 ,  磁性 ,  マイクロアクチュエータ ,  作製