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J-GLOBAL ID：201502202245659263   整理番号：15A1170017

メサパターン化シリコン基板上の高反射率分布Bragg反射器を有する窒化物系発光ダイオードの成長

Growth of nitride-based light emitting diodes with a high-reflectivity distributed Bragg reflector on mesa-patterned silicon substrate

著者 (10件)： DAMILANO Benjamin (CRHEA-CNRS UPR10, Centre de Rech. sur l’Hetero-Epitaxie et ses Applications, Centre National de la Rech. ...) ,  BROCHEN Stephane (CRHEA-CNRS UPR10, Centre de Rech. sur l’Hetero-Epitaxie et ses Applications, Centre National de la Rech. ...) ,  BRAULT Julien (CRHEA-CNRS UPR10, Centre de Rech. sur l’Hetero-Epitaxie et ses Applications, Centre National de la Rech. ...) ,  HOSSAIN Tasnia ,  REVERET Francois (Inst. Pascal UMR 6622, CNRS, Univ. Blaise Pascal, 24 avenue des landais, 63177 Aubiere cedex, FRA) ,  FRAYSSINET Eric (CRHEA-CNRS UPR10, Centre de Rech. sur l’Hetero-Epitaxie et ses Applications, Centre National de la Rech. ...) ,  CHENOT Sebastien (CRHEA-CNRS UPR10, Centre de Rech. sur l’Hetero-Epitaxie et ses Applications, Centre National de la Rech. ...) ,  COURVILLE Aimeric (CRHEA-CNRS UPR10, Centre de Rech. sur l’Hetero-Epitaxie et ses Applications, Centre National de la Rech. ...) ,  CORDIER Yvon (CRHEA-CNRS UPR10, Centre de Rech. sur l’Hetero-Epitaxie et ses Applications, Centre National de la Rech. ...) ,  SEMOND Fabrice (CRHEA-CNRS UPR10, Centre de Rech. sur l’Hetero-Epitaxie et ses Applications, Centre National de la Rech. ...)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 212  号： 10  ページ： 2297-2301  発行年： 2015年10月 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： メサパターン化シリコン基板上に成長させ電気光学特性が改善した(Ga,In)N/GaN多重量子井戸青色発光ダイオード(LEDs)について示した。高反射率AlN/(Al,Ga)N分布Bragg反射器(DBRs)の上部に活性領域を成長させた。メサ端における有効な応力緩和により,試料成長あるいは成長後冷却時の亀裂生成を避ける事ができた。DBR中の多数のAlN/(Al,Ga)N二重層がLED構造を含む事ができたので,LED発光波長におけるシリコン基板による吸収があるにも関わらず,LEDデバイス出力パワーが非常に大きくなった。Copyright 2015 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *発光ダイオード ,  *反射器 ,  *反射鏡 ,  Bragg反射 ,  多重量子井戸 ,  窒化ガリウム ,  インジウム化合物 ,  窒化アルミニウム ,  メサ構造 ,  ウエハ【IC】 ,  応力緩和 ,  エピタクシー
準シソーラス用語： *Bragg反射器 ,  GaN ,  エピタキシャル成長 ,  シリコン基板 ,  *青色発光ダイオード

分類 (1件)： 発光素子  (NC03082G)

タイトルに関連する用語 (7件)： パターン化 ,  シリコン基板 ,  高反射率 ,  分布Bragg反射器 ,  窒化物 ,  発光ダイオード ,  成長