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J-GLOBAL ID：201502202328759413   整理番号：15A0961748

段階的加熱エレクトロスピニングを介したSi/SiO₂/Ti/Pt基板上のSnO₂-ZnOナノファイバのメタノール検出マイクロガスセンサ

Methanol sensing micro-gas sensors of SnO₂-ZnO nanofibers on Si/SiO₂/Ti/Pt substrate via stepwise-heating electrospinning

著者 (2件)： TANG Wei (Dalian Univ. of Technol., School of Electronic Sci. and Technol., 116023, Dalian, CHN) ,  WANG Jing (Dalian Univ. of Technol., School of Electronic Sci. and Technol., 116023, Dalian, CHN)
資料名： Journal of Materials Science  (Journal of Materials Science)
巻： 50  号： 12  ページ： 4209-4220  発行年： 2015年06月 
JST資料番号： B0722A  ISSN： 0022-2461  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ”段階的加熱エレクトロスピニング”と名付けた新しい方法によりSi/SiO₂/Ti/Pt基板上にSnO₂-ZnO複合材料ナノファイバを作製した。Si/SiO₂/Ti/Pt基板は熱酸化,フォトリソグラフィー,スパッタリング,リフトオフのいくつかの技術的プロセスを含む典型的MEMS技術により作製された。通常のセラミック管センサ作製過程に比べて,ケイ素プレーナ技術を用いたセンサ作製過程の間,スピンコーティングまたは研削は必要とされず,ナノ材料の初期の形態の破壊は回避された。ZnO改質SnO₂はZnOとSnO₂の界面でのN-Nヘテロ結合の存在により,メタノールに対する良好な検出特性を示す。ガス検出性能におけるSnO₂-ZnOヘテロ結合の効率的な電荷分離をエネルギーバンド,電子蓄積層および空乏層の形成の観点から考察した。メタノール吸着と脱着の過程における具体的検知機構と共にSnO₂-ZnO複合材料ナノファイバのバンド曲がりと潜在的障壁高さの変化を詳細に記述した。Copyright 2015 Springer Science+Business Media New York Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  エレクトロスピニング ,  ケイ素 ,  二酸化ケイ素 ,  チタン ,  白金 ,  基板 ,  *酸化スズ ,  *酸化亜鉛 ,  *ナノファイバ ,  MEMS ,  熱酸化 ,  フォトリソグラフィー ,  微細加工 ,  パターン形成 ,  ヘテロ接合 ,  N型半導体 ,  吸着 ,  脱着 ,  電荷分離 ,  バンド構造 ,  高さ ,  ポテンシャル障壁 ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： エネルギーバンド ,  ガス吸着 ,  バンド曲がり ,  リフトオフ ,  二酸化スズ ,  障壁高さ

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

物質索引 (1件)： メタノール

タイトルに関連する用語 (10件)： 段階 ,  エレクトロスピニング ,  Si ,  SiO2 ,  Ti ,  Pt ,  ZnO ,  ナノファイバ ,  メタノール ,  ガスセンサ