抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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機械部品や電子部品をはじめ,多くの工業製品において薄膜適用による高度機能化が行われている。薄膜の特性,特に硬度を測定する方法として,ナノインデンターが使われている。ナノインデンターは超微小な荷重を印加し,それによって生じる材料の微小な変形を高精度に測定出来る試験機である。本稿では,ナノインデンターの最新技術について紹介した。主な内容。1)薄膜の高度測定法。2)薄膜の破壊特性評価への応用。3)インデンテーションの多点測定。4)インデンテーション中の画像化。