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J-GLOBAL ID：201502202445009670   整理番号：15A1215371

大気ヘリウムプラズマ中のラジオ周波数誘電体障壁グロー放電の均一性【Powered by NICT】

Uniformity of Radio Frequency Dielectric Barrier Glow Discharge in Atmospheric Helium Plasma

著者 (5件)： Mao Zhiguo (Coll. of Sci., North China Univ. of Technol., Beijing) ,  Zhu Qiang (Lab. of Plasma Physics and Materials,Beijing Inst. of Graphic Communication, Beijing) ,  Li Sen (Shanghai Publishing and Printing Coll., Shanghai) ,  Liu Zhongwei (Lab. of Plasma Physics and Materials,Beijing Inst. of Graphic Communication, Beijing) ,  Chen Qiang (Lab. of Plasma Physics and Materials,Beijing Inst. of Graphic Communication, Beijing)
資料名： Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao  (Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao)
巻： 35  号： 6  ページ： 762-766  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2159A  ISSN： 1672-7126  CODEN： CKKSDV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 大気圧(RF-DBGDAP)でのラジオ周波数誘電体バリアグロー放電の空間-時間特性には,自家製の透明反応器,溶融シリカで被覆された水冷銅電極(100 mmx 100 mm)からなる銅シートリングによる接地水電極を用いて調べた。動径分布とグロー放電強度とその時間発展の軸方向分布は,強化電荷結合素子(ICCD)カメラを用いて解析した。結果は,半径方向分布とグロー放電強度の軸方向分布しただけでなく高度に一様であるが,無線foequencyと様々な周期的であることを示した。空間電荷がRF DBGDAPの均一性と進化における支配的な役割を果たしていることを推定した。大気圧(MF-DBGDAP)で中波誘電体バリアグロー放電とは対照的に,半径方向の不均一性が観察されなかった。RF DBGDAPは均一な薄膜蒸着と高分子表面改質のための非常に適していると考えられている。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 接地 ,  *誘電体 ,  電荷結合素子 ,  水冷 ,  空間電荷 ,  電極 ,  *グロー放電 ,  *ラジオ放送 ,  時間発展 ,  半径方向 ,  銅 ,  *周波数 ,  軸方向 ,  石英ガラス
準シソーラス用語： 銅電極 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  表示機器  (NC06030Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： 大気 ,  ヘリウムプラズマ ,  ラジオ ,  誘電体 ,  障壁 ,  グロー放電 ,  均一性