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J-GLOBAL ID：201502203054940961   整理番号：15A1140730

スプレー熱分解VO_x薄膜のガス検出特性の比較

Comparison of gas sensing properties of spray pyrolysed VO_x thin films

著者 (2件)： BAGHERI KHATIBANI A. (Islamic Azad Univ., Nano Res. Lab, Lahijan Branch, P.O. Box 1616, Lahijan, IRN) ,  ABBASI M. (Univ. of Guilan, Physics Dep., Fac. of Sci., 41335, Rasht, IRN)
資料名： Journal of Materials Science. Materials in Electronics  (Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 26  号： 7  ページ： 5052-5059  発行年： 2015年07月 
JST資料番号： W0003A  ISSN： 0957-4522  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 20,40及び60分の堆積時間のスプレー熱分解により,予熱したガラス基板上にナノ結晶酸化バナジウム薄膜を堆積させ,物理特性の堆積時間依存性を調べた。X線回折法は,VO_xと認められる様々な酸化バナジウム相を示した。原子間力顕微鏡と電界放射走査電子顕微鏡を用いて膜の微細構造を調べた。この膜を電気回路上に設置し,ガス検出特性を評価した。この膜はエタノール応答を示した。堆積時間は膜成長とガス応答に影響した。最適動作温度,動的応答及び感度を測定した。様々なエタノール濃度に対してこのセンサは線形に応答し,最低堆積時間のセンサが最高の感度を示した。Copyright 2015 Springer Science+Business Media New York Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 熱分解 ,  *酸化バナジウム ,  薄膜成長 ,  *センサ ,  *ガスセンサ ,  基板 ,  電気装置部品 ,  ナノ結晶 ,  時間依存性 ,  物理的性質 ,  X線回折分析 ,  表面性状 ,  顕微鏡観察 ,  微細構造 ,  *電気抵抗 ,  電気測定 ,  比較試験 ,  ガス検出器 ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  スプレー熱分解 ,  *薄膜センサ

分類 (1件)： 電気分析一般  (CC05010C)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (2件)： スプレー熱分解 ,  薄膜