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J-GLOBAL ID：201502203160974913   整理番号：15A1121979

2次元横方向シヤリング干渉法における試料採取点の選択【Powered by NICT】

Selection of Sampling Points in Two Dimensional Lateral Shearing Interferometry

著者 (4件)： Wang Hongjun (Shaanxi Province Key Lab. of Thin Film Technol. and Optical Test, Xi’an Technological Univ., Shaanxi, Xi’an) ,  Zhang Cong (Shaanxi Province Key Lab. of Thin Film Technol. and Optical Test, Xi’an Technological Univ., Shaanxi, Xi’an) ,  Tian Ailing (Shaanxi Province Key Lab. of Thin Film Technol. and Optical Test, Xi’an Technological Univ., Shaanxi, Xi’an) ,  Liu Bingcai (Shaanxi Province Key Lab. of Thin Film Technol. and Optical Test, Xi’an Technological Univ., Shaanxi, Xi’an)
資料名： Guangzi Xuebao  (Guangzi Xuebao)
巻： 44  号： 3  ページ： 0312002-1-0312002-6  発行年： 2015年 
JST資料番号： W1500A  ISSN： 1004-4213  CODEN： GUXUED  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 大口径非球面オンライン検出における位相シフト型lateralshearing干渉計の広域利用を実現するために,横方向シヤリング干渉計による非球面の測定は,二次元表面を再構成するためにシミュレートした。シミュレートした非球面のxとy方向におけるせん断変位の大きさとサンプリング地点数をそれぞれ分析した。波面を再構成する波差とZernike多項式準を図るために最小二乗法を用いて,非球面をシミュレートした。結果は,高精度を保証するために,開口のサイズが約十分の1のせん断量を設定するための適しており,Zernike多項式フィッティングを用いた二次元表面トポグラフィーを表示するために必要であるわずか49離散サンプリング点を示した。結論は,大口径非球面表面測定のオンライン実用化のための横方向シヤリング干渉法と技術支援の位相シフト型二次元波面再構成のための理論的指針を提供する。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 再構成 ,  位相シフト ,  二次元 ,  剪断 ,  大口径 ,  干渉計 ,  *シヤリング ,  表面再構成 ,  波面 ,  シヤリング干渉計 ,  *干渉測定 ,  Zernike多項式
準シソーラス用語： 高精度 ,  オンライン ,  非球面 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  ホログラフィー一般  (BD03071V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 2次元 ,  横方向 ,  シヤリング ,  干渉法 ,  試料採取