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J-GLOBAL ID:201502203188407992   整理番号:15A0773545

ロールツーロールホットエンボス加工プロセス中の高分子の流動挙動

Flow behavior of polymers during the roll-to-roll hot embossing process
著者 (5件):
資料名:
巻: 25  号:ページ: 065004,1-11  発行年: 2015年06月 
JST資料番号: W1424A  ISSN: 0960-1317  CODEN: JMMIEZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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大面積高分子材料に微細構造を連続して形成するため,ロールツーロール(R2R)ホットエンボス加工法が期待されている。本稿では,マイクロピラミッドのR2R製作における高分子の流動挙動を解明するため,線形粘弾性モデルに基づく有限要素(FE)モデルを提案し,実験により実証した。最初にPVC薄膜上のマイクロピラミッドの充填ステージにおける温度分布について検討した。膜厚方向の高い温度勾配とその結果によるクリープ歪の表面層への集中を示した。離型時にはホットエンボス加工されたマイクロピラミッドの復元が明らかにあり,冷却条件が重要であることを示した。これらの流動挙動を理解することは高分子の微細加工において正確で効率のよい製作条件を決めるのに重要である。
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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