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J-GLOBAL ID：201502203245462295   整理番号：15A0456046

ヘテロ接合太陽電池のためのナノパターン化Si構造の作製

Preparation of nano-patterned Si structures for hetero-junction solar cells

著者 (6件)： LU Peng (School of Electronic Sci. and Engineering and National Lab. of Solid State Microstructures, Nanjing Univ., Nanjing, CHN) ,  XU Jun (School of Electronic Sci. and Engineering and National Lab. of Solid State Microstructures, Nanjing Univ., Nanjing, CHN) ,  CAO Yunqing (School of Electronic Sci. and Engineering and National Lab. of Solid State Microstructures, Nanjing Univ., Nanjing, CHN) ,  LAI Jingwei (School of Electronic Sci. and Engineering and National Lab. of Solid State Microstructures, Nanjing Univ., Nanjing, CHN) ,  XU Ling (School of Electronic Sci. and Engineering and National Lab. of Solid State Microstructures, Nanjing Univ., Nanjing, CHN) ,  CHEN Kunji (School of Electronic Sci. and Engineering and National Lab. of Solid State Microstructures, Nanjing Univ., Nanjing, CHN)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 334  ページ： 123-128  発行年： 2015年04月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アスペクト比の小さい220nm及び300nm周期のナノパターンSi構造をナノ球リソグラフィー法により作製した。広いスペクトル範囲(300~1200nm)における良好な反射防止特性が作製したSiナノ構造物の緩やかな屈折率変化のために得られた。真性及びリンドープ(Pドープ)アモルファスSi(a-Si)膜の堆積後,220nm及び300nm周期のナノ構造物の荷重平均反射率はさらにそれぞれ3.30%及び2.96%に小さくなった。大きくなった光吸収のためにナノパターン化電池の内部量子効率(IQE)及び外部量子効率(EQE)は両者とも広いスペクトル域でよくなった。300nm周期ナノパターン化プロトタイプヘテロ接合太陽電池に対して短絡電流密度は34.5mA/cm²に増加しており,フラット電池の26.8mA/cm²と比較して明らかに向上したものであった。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *太陽電池 ,  ヘテロ接合 ,  *ケイ素 ,  *ナノ構造 ,  *パターン形成 ,  リソグラフィー ,  屈折率分布 ,  反射率 ,  周期構造 ,  量子効率 ,  短絡電流
準シソーラス用語： *ヘテロ接合太陽電池 ,  ナノ球リソグラフィー ,  *反射防止構造 ,  内部量子効率 ,  外部量子効率

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (4件)： ヘテロ接合太陽電池 ,  ナノパターン ,  Si ,  作製