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J-GLOBAL ID：201502203459755230   整理番号：15A0734335

光学表面に対する多重欠陥粒子での半空間問題の散乱特性の改良解析

An improved analysis of the scattering properties of half-space problem with multiple defect particles for an optical surface

著者 (4件)： GONG L. (School of Photoelectric Engineering, Xi’an Technological Univ., Xi’an, Shaanxi 710021, CHN) ,  WU Z.S. (School of Sci., Xidian Univ., Xi’an, Shaanxi 710021, CHN) ,  LI Z.J. (School of Sci., Xidian Univ., Xi’an, Shaanxi 710021, CHN) ,  ZHANG G. (School of Sci., Xidian Univ., Xi’an, Shaanxi 710021, CHN)
資料名： Journal of Quantitative Spectroscopy & Radiative Transfer  (Journal of Quantitative Spectroscopy & Radiative Transfer)
巻： 162  ページ： 184-189  発行年： 2015年09月 
JST資料番号： H0072A  ISSN： 0022-4073  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非破壊検査の実際の状況に基づいて,光学表面に対する多重欠陥粒子の散乱特性の改良解析を示した。有限差分時間領域法を用いて,一般化完全整合層は,光学表面および欠陥粒子の半空間問題に対して非常によくはたらいた。境界接続条件は,三波法によって軽減された。相反性理論を近接-遠方場外挿に適用した。その結果をCST Microwave Studioソフトウエアを用いて得たものと比較し,両者が相互に非常によく適合することがわかり,したがって提案した方法の信頼性が立証された。異なる位置の二重粒子の角度分布を示した。球数および球間距離の影響に関するいくつかの選択された計算を記した。最も重要な因子として,位置因子を詳細に数値的に解析した。理論およびモデルは,検査光学あるいはウエハ表面を調べる上で貴重であった。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *表面 ,  *電磁波散乱 ,  有限差分時間領域法 ,  非破壊検査 ,  多重散乱 ,  相反性 ,  特性 ,  空間 ,  近接場 ,  遠方場
準シソーラス用語： 光学表面 ,  散乱特性 ,  半空間

分類 (1件)： 電磁気学一般  (BD01020N)

タイトルに関連する用語 (7件)： 光学表面 ,  多重 ,  欠陥 ,  半空間 ,  問題 ,  散乱特性 ,  解析