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J-GLOBAL ID：201502203652337285   整理番号：15A1284129

マイクロスケールにおけるトライボロジー設計

Tribology Design in Micro-Scale

著者 (1件)： 安藤泰久 (東京農工大学大学院工学府)
資料名： 塑性と加工  (Journal of the Japan Society for Technology of Plasticity)
巻： 56  号： 657  ページ： 861-865 (J-STAGE)  発行年： 2015年 
JST資料番号： G0076A  ISSN： 0038-1586  CODEN： SOKAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロスケールの摩擦において最も特徴的なのは,固体表面同士を引きつけあう凝着力が摩擦に強く影響することであり,トライボロジー設計では,表面の形状制御が重要となってくる。本稿では,凝着力が無視できない条件での摩擦について明らかにし,マイクロスケールの機構の例としてMEMSを取り上げ,凝着力が直接影響するスティクションについて紹介した。また,摩擦には接触面のマイクロスケールやナノスケールの形状が影響を与えることがあり,そのような観点から,表面形状を制御することで大きなサイズの機械の潤滑を改善する方法について説明した。MEMSの製造過程で発生するスティクションと呼ばれる現象の鍵を握るラプラス圧力を減らすのには,構造体と基板との間に突起を設けて接触面積を減らす工夫が必要であると説明した。また,著者らは,ナノストライプ構造を利用した新しい表面パターニング法を開発し,その摩擦特性について検討しており,ナノストライプ構造では,摩耗による形状変化を逆に利用し,摩耗によるトライボロジー特性を向上できると説明した。

シソーラス用語： *トライボロジー ,  *形状制御 ,  *MEMS ,  潤滑 ,  改良 ,  生産工程 ,  *隆起 ,  ナノ構造 ,  *パターン形成 ,  規模 ,  トライボロジー特性 ,  ナノスケール ,  *マイクロスケール ,  固体表面 ,  接触面 ,  *表面形状 ,  摩擦特性 ,  *サーボ制御
準シソーラス用語： *スティクション ,  ナノストライプ ,  *凝着 ,  形状変化

分類 (1件)： 潤滑一般  (QB02010S)

引用文献 (15件)：

• 1) 日本トライボロジー学会編:トライボロジーハンドブック,(2001),21,養賢堂.
• 2) 安藤泰久・石川雄一・北原時雄:トライボロジスト,41-8(1996),663-670.
• 3) 安藤泰久:マイクロトライボロジー入門,(2009),1-8,米田出版.
• 4) イスラエルアチヴィリ,J.N.著・近藤保/大島広行訳:分子間力と表面力,(1991),222,マグロウヒル出版.
• 5) Orr, F.M., Scriven, L.E. & Rivas, A.P. :J. Fluid. Mech., <b>67</b>(1975),723-742.

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロスケール ,  トライボロジー ,  設計