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J-GLOBAL ID：201502203655935523   整理番号：15A0860421

TiVN被覆の硬度と密着性に及ぼす共堆積パラメータの効果

Effect of codeposition parameters on the hardness and adhesion of TiVN coatings

著者 (3件)： MONTERO-OCAMPO C. (CINVESTAV-IPN, U. Saltillo, Industria Metalurgica 1062, Parque Industrial Saltillo-Ramos Arizpe, 25900 Ramos Arizpe ...) ,  RAMIREZ-CEJA E.A. (CINVESTAV-IPN, U. Saltillo, Industria Metalurgica 1062, Parque Industrial Saltillo-Ramos Arizpe, 25900 Ramos Arizpe ...) ,  HIDALGO-BADILLO J.A. (CINVESTAV-IPN, U. Saltillo, Industria Metalurgica 1062, Parque Industrial Saltillo-Ramos Arizpe, 25900 Ramos Arizpe ...)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 41  号： 9 PA  ページ： 11013-11023  発行年： 2015年11月 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： PVDカソードアーク堆積パラメータのTiVN被覆性能に及ぼす効果の系統的調査を,これらの被覆の構造,表面形態,化学組成,硬度および密着性を解析するために実施した。TiターゲットとVターゲットに印加した運転圧力,基板バイアス電圧,および電流を含む四つの因子の効果を評価した。調べた被覆をX線回折,走査型電子顕微鏡観察,エネルギー分散分光,接着試験(即ち,引掻き試験)およびVickers微小硬さ試験によって解析した。本調査の結果が,Vターゲットに印加した電流はTiVN被覆硬度に及ぼす最大の効果を持つ因子で,一方基板に印加したバイアス電圧は密着強度に最大の効果を持つことを示した。得たTiVN被覆は15GPaに近い良好な硬度値と113Nに近い密着臨界荷重を示した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： チタン化合物 ,  バナジウム化合物 ,  *窒化物 ,  *物理蒸着 ,  接着強さ ,  微小硬さ ,  プロセスパラメータ ,  ターゲット ,  *被覆

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 硬度 ,  密着性 ,  堆積 ,  パラメータ