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J-GLOBAL ID：201502203672667133   整理番号：15A1079253

GLAD法により作成した酸化銅複合材料薄膜の構造・光学特性評価

Structural and optical characterization of copper oxide composite thin films elaborated by GLAD technique

著者 (6件)： TOUNSI N. (Res. Unit, Physics of Insulating and Semi-insulating Materials, Fac. of Sciences of Sfax, BP 1171, 3000 Sfax, Tunisia) ,  BARHOUMI A. (Res. Unit, Physics of Insulating and Semi-insulating Materials, Fac. of Sciences of Sfax, BP 1171, 3000 Sfax, Tunisia) ,  CHAFFAR Akkari F. (Photovoltaic and Semi-conductor Materials Lab., ENIT, PB 37, Le Belvedere 1002, Tunis, Tunisia) ,  KANZARI M. (Photovoltaic and Semi-conductor Materials Lab., ENIT, PB 37, Le Belvedere 1002, Tunis, Tunisia) ,  GUERMAZI H. (Res. Unit, Physics of Insulating and Semi-insulating Materials, Fac. of Sciences of Sfax, BP 1171, 3000 Sfax, Tunisia) ,  GUERMAZI S. (Res. Unit, Physics of Insulating and Semi-insulating Materials, Fac. of Sciences of Sfax, BP 1171, 3000 Sfax, Tunisia)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 121  ページ： 9-17  発行年： 2015年11月 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,自由大気中,Cu薄膜をアニールして,Cu₂O/CuO複合材料膜を得た。Cu薄膜は,基板から測った一定のすれすれ角αでのすれすれ角蒸着「GLAD」法により,ガラス基板上へ蒸着した。静止した基板では,入射蒸着方向に向かって傾斜したナノロッドが形成された。様々な角度α(0-80°)でCu GLAD膜を蒸着した。得られた膜の構造・光学特性はXRD,Raman,及びUV-vis吸収データを基に調べた。これら特性のアニーリング温度と蒸着角への依存性を分析した。得られたXRDパターンとRamanスペクトルから,200°Cでアニールした膜ではCu₂O,CuO,及び金属Cu相が明らかになり,300°Cでアニーリング後,CuO単相が得られた。Williamson-Hallモデルを使って,結晶粒径,歪,転位密度などのミクロ構造パラメータを計算した。Warren-Warekois関係を使って,積層欠陥確率を決定した。バンドギャップエネルギーとUrbachエネルギー,そして他の光学パラメータは光吸収データから評価した。得られた結果は文献と良く一致した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： すれすれ入射 ,  蒸着膜 ,  真空蒸着 ,  金属薄膜 ,  銅 ,  *酸化第一銅 ,  *酸化第二銅 ,  熱処理 ,  X線回折分析 ,  Ramanスペクトル ,  *結晶粒径 ,  *転位密度 ,  格子歪 ,  積層欠陥 ,  *バンドギャップ ,  紫外可視吸収スペクトル ,  *熱酸化 ,  複合材料 ,  *光学定数 ,  薄膜
準シソーラス用語： すれすれ角入射

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  その他の無機化合物の格子欠陥  (BK12050B) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 酸化銅 ,  複合材料 ,  薄膜 ,  光学特性評価