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J-GLOBAL ID:201502203737150222   整理番号:15A1268585

障壁酸化アルミニウムの成長と酢酸緩衝液への溶解に関するエリプソメトリーとクロノアンペロメトリーの同時適用による研究

Simultaneous ellipsometric and chronoamperometric study of barrier aluminium oxide growth and dissolution in acetate buffer
著者 (3件):
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巻: 19  号: 12  ページ: 3473-3483  発行年: 2015年12月 
JST資料番号: W1021A  ISSN: 1432-8488  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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障壁酸化アルミニウムの成長と酢酸緩衝液への溶解をモニターするために,エリプソメトリーとクロノアンペロメトリーの同時適用によるその場測定を行った。各々の電位段階の前に,中間状態のデータのキャリブレーションのために,定常状態膜厚を電気化学的インピーダンススペクトル法(EIS)により決定した。正電圧段階におこる障壁酸化物の成長はCabrera-Mott逆二乗対数成長則に矛盾しない。測定された電流の,約20%が障壁酸化物の成長に使用される。負電圧段階におこる酸化物溶解速度は,アルミニウムイオンのテスト溶液への拡散速度によりコントロールされていた。得られた溶解速度は相当する酸化物成長速度よりはるかに小さかった。Al3+の拡散係数として文献値を用いてFickの第二法則から計算した酸化物の溶解性は,熱力学による考察から得られる値より約二けた大きかった。ここに開発した方法論は,水溶液における障壁酸化物層の成長と溶解に関する,現存するノウハウを改良するに必要な,速度論的および溶解性のデータを提供する。Copyright 2015 Springer-Verlag Berlin Heidelberg Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (3件):
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塩基,金属酸化物  ,  分析機器  ,  電気化学一般 
物質索引 (1件):
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