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J-GLOBAL ID：201502203965256138   整理番号：15A0941262

バイオインスパイアードアルゴリズムを用いた化学気相堆積プロセスにおける反応機構自動解析システムの開発

著者 (4件)： 高橋崇宏 (静岡大 大学院) ,  阿部浩士 (静岡大 工) ,  荒川正幹 (宇部工高専) ,  江間義則 (静岡大 大学院)
資料名： 情報化学討論会講演要旨集(Web)
巻： 36th  ページ： P12(J-STAGE)  発行年： 2013年10月31日 
JST資料番号： U0627A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  工程 ,  *反応機構 ,  *解析 ,  *システム ,  開発 ,  反応経路 ,  研究開発 ,  自動化 ,  評価 ,  薄膜 ,  Knudsen数 ,  拡散 ,  付着係数 ,  推論マシン ,  反応器 ,  測定データ ,  高次元 ,  関数 ,  誤差 ,  表面反応 ,  *バイオインスパイアードアルゴリズム ,  解析精度 ,  *人工ハチコロニーアルゴリズム ,  予測値 ,  薄膜形成 ,  改変
準シソーラス用語： 仮想機器 ,  最適化アルゴリズム ,  成膜 ,  探索

分類 (3件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  数値計算  (JE02000J) ,  研究開発  (CA01040B)

引用文献 (9件)：

• H. Komiyama, Y. Shimogaki and Y. Egashira, Chem. Eng. Sci. 54, 1941 (1999).
• T. Takahashi, K. Funatsu and Y. Ema, Meas. Sci. Technol. 16, 278 (2005).
• T. Takahashi, N. Fukui, M. Arakawa, K. Funatsu and Y. Ema, J. Nanosci. Nanotechnol. 11, 8004 (2011).
• D. Karaboga, Technical Report-TR06, Erciyes Univ., Kayseri, Turkey (2005).
• 高橋崇宏, 河合晃平, 中井寛之, 金原宏樹, 江間義則, 第35回情報化学討論会講演要旨集, P16 (2012).

タイトルに関連する用語 (5件)： バイオインスパイアードアルゴリズム ,  化学気相堆積 ,  プロセス ,  解析システム ,  開発