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J-GLOBAL ID:201502204421170618   整理番号:15A0241620

有機オプトエレクトロニクスデバイスのためのフレキシブル有機-無機ハイブリッド層のカプセル化

Flexible organic-inorganic hybrid layer encapsulation for organic opto-electronic devices
著者 (9件):
資料名:
巻: 80  ページ: 27-32  発行年: 2015年03月 
JST資料番号: A0541C  ISSN: 0300-9440  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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この作品では,空気に敏感な有機オプトエレクトロニクスデバイスの保護のためのフレキシブル有機-無機ハイブリッド防湿層を生産し,研究した。無機アモルファス窒化ケイ素層(SiNx:H)と有機PMMA[ポリ(メチルメタクリレート)]層を,ホットワイヤ化学蒸着(HW-CVD)とスピンコーティング技術を,それぞれ使用して交互に堆積させた。有機-無機ハイブリッド界面の効果を,界面の数を増加させるために分析した。透明性の高い(可視領域の~80%)ハイブリッド構造を生成した。形態学的特性を分析して,水蒸気透過速度(WVTR)値の変化を理解するための良い基盤を提供した。4.5×10-5g/m2dayの最小WVTRを,7有機/無機界面について,周囲気条件で報告した。ハイブリッド障壁は素晴らしい機械的柔軟性を示し,そのフレキシブル用途での高い可能性を確認した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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