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J-GLOBAL ID：201502204503324681   整理番号：15A1314791

二重翼基板上の蒸着:被覆厚とミクロ構造の制御

Vapor deposition on doublet airfoil substrates: Control of coating thickness and microstructure

著者 (3件)： RODGERS Theron M. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Univ. of Virginia, 395 McCormick Rd., P.O. Box 400745, Charlottesville ...) ,  ZHAO Hengbei (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Univ. of Virginia, 395 McCormick Rd., P.O. Box 400745, Charlottesville ...) ,  WADLEY Haydn N. G. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Univ. of Virginia, 395 McCormick Rd., P.O. Box 400745, Charlottesville ...)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 33  号： 6  ページ： 061518-061518-17  発行年： 2015年11月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 被覆を堆積するガスジェット蒸着過程を,従来型の物理蒸着法の場合より高い圧力で行い,それらの表面上の非視線領域があるものを含む複雑な形状の基板を被覆するのに有望であることを示した。これら領域は通常,低速の蒸気原子を受け取り,蒸気源の視線における基板領域よりも幅広い入射角分布を持つ。そのような基板の被覆を調べるため,視線領域と非視線領域両方を含むモデル二重翼の内側(湾曲)表面に沿った厚みとミクロ構造の変動を調べた。原子レベルシミュレーションと実験の結果から,調べたすべての被覆過程において,被覆厚はフラックスが影になる領域の方が他の領域よりも薄いことを確かめた。これはまた,被覆の柱状ミクロ構造と細孔体積は,視線から非視線遷移ゾーンを通して表面位置と共に変化することも示す。全二重翼表面にわたって厚みを最適化する基板回転戦略を調べ,被覆厚,柱状成長角度,及び細孔体積比が全二重翼表面上で本の少ししか変動しない過程を見いだした。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： タービン翼 ,  *案内羽根 ,  被覆層 ,  *遮熱コーティング ,  層厚 ,  被覆 ,  細孔 ,  柱状晶 ,  基板 ,  蒸着膜 ,  ガスジェット ,  蒸着
準シソーラス用語： *ガスジェット蒸着 ,  *ガスタービン翼 ,  *熱障壁被覆

分類 (2件)： ガスタービン  (PB02040Y) ,  気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 翼 ,  蒸着 ,  被覆厚 ,  ミクロ構造